[实用新型]一种硅粉热氧化装置

权利要求书

1.一种硅粉热氧化装置，包括装置本体、炉管组件、保温层、加热管、梳状支架、载物小车，所述的炉管组件安装在装置本体上且贯穿于装置本体，所述的保温层环状布置于炉管组件的外圆周，所述的保温层和炉管组件之间设置有梳状支架，所述的保温层内壁靠近梳状支架侧设置有螺旋结构的加热管，所述的载物小车设置在炉管组件内，其特征在于：所述的炉管组件包括石英炉管和石英罩，所述的石英炉管安装在装置本体内，所述的石英炉管为中空的圆柱管，所述的石英罩安装在石英炉管的左右两侧，所述的石英炉管与石英罩导通。

2.根据权利要求1所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的石英罩与石英炉管之间采用间隙配合安装，所述的石英炉管与石英罩之间设置有石英棉。

3.根据权利要求2所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的石英罩为前端小，后端大的锥形管。

4.根据权利要求1所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的石英炉管底部设置有平台，所述的平台上设置有梯形导轨。

5.根据权利要求4所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的梯形导轨上设置有上部开放的矩形槽口。

6.根据权利要求1所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的载物小车底部设置有梯形槽，所述的梯形槽与梯形导轨配合设置。

7.根据权利要求6所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的梯形槽上设置有圆形通孔，所述的圆形通孔与矩形槽口对应设置。

8.根据权利要求7所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的圆形通孔的直径大于矩形槽口的宽度。

9.根据权利要求1所述的一种硅粉热氧化装置，其特征在于：所述的载物小车与矩形槽口之间设置有T型锁紧柄，所述的T型锁紧柄主体为圆柱体，圆柱体前端设置有平顶圆锥体，所述的平顶圆锥体的最大外径大于矩形槽口的宽度，最小外径小于矩形槽口的宽度。