[实用新型]一种硅粉热氧化装置

说明书

本实用新型涉及一种硅粉热氧化装置，包括装置本体、炉管组件、保温层、加热管、梳状支架、载物小车，所述的炉管组件安装在装置本体上且贯穿于装置本体，所述的保温层环状布置于炉管组件的外圆周，所述的保温层和炉管组件之间设置有梳状支架，所述的保温层内壁靠近梳状支架侧设置有螺旋结构的加热管，所述的载物小车设置在炉管组件内。采用T型锁紧柄，可以在进行氧化过程中，对小车进行固定，当对T型锁紧柄向下施压时，由于平顶圆锥体与矩形槽口形成锥面卡紧，可以有效防止载物小车在进行热氧化过程中的移动，也可以防止由于地面不平造成的倾斜，不能够良好固定载物小车在石英炉管内的某一个位置。

技术领域

本实用新型涉及硅粉氧化领域，尤其涉及一种硅粉热氧化装置。

背景技术

硅废料是金刚线切割硅片过程的副产物，其表面会包覆一层较厚的有机物壳层。通过惰性气氛保护高温煅烧的方法，以对样品表面有机物进行有效去除。现有设备在高温煅烧过程中，由于惰性气氛不能与硅粉充分的接触进行高温煅烧而效果不佳，同时载物小车常有在石英炉管内卡住无法进行前后移动的情况发生。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种硅粉热氧化装置，操作简单，使用效果好，可以对载物小车在石英炉管内进行方便的移动和固定作业。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种硅粉热氧化装置，包括装置本体、炉管组件、保温层、加热管、梳状支架、载物小车，所述的炉管组件安装在装置本体上且贯穿于装置本体，所述的保温层环状布置于炉管组件的外圆周，所述的保温层和炉管组件之间设置有梳状支架，所述的保温层内壁靠近梳状支架侧设置有螺旋结构的加热管，所述的载物小车设置在炉管组件内，其特征在于：所述的炉管组件包括石英炉管和石英罩，所述的石英炉管安装在装置本体内，所述的石英炉管为中空的圆柱管，所述的石英罩安装在石英炉管的左右两侧，所述的石英炉管与石英罩导通。

进一步的，所述的石英罩与石英炉管之间采用间隙配合安装，所述的石英炉管与石英罩之间设置有石英棉。

进一步的，所述的石英罩为前端小，后端大的锥形管。

进一步的，所述的石英炉管底部设置有平台，所述的平台上设置有梯形导轨。

进一步的，所述的梯形导轨上设置有上部开放的矩形槽口。

进一步的，所述的载物小车底部设置有梯形槽，所述的梯形槽与梯形导轨配合设置。

进一步的，所述的梯形槽上设置有圆形通孔，所述的圆形通孔与矩形槽口对应设置。

进一步的，所述的圆形通孔的直径大于矩形槽口的宽度。

进一步的，所述的载物小车与矩形槽口之间设置有T型锁紧柄，所述的T型锁紧柄主体为圆柱体，圆柱体前端设置有平顶圆锥体，所述的平顶圆锥体的最大外径大于矩形槽口的宽度，最小外径小于矩形槽口的宽度。

采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

(1)本实用新型一种硅粉热氧化装置，采用梯形轨道的方式，限制载物小车的运动方向，方便小车在石英炉管里的运动。

(2)采用T型锁紧柄，可以在进行氧化过程中，对小车进行固定，由于平顶圆锥体的最大外径大于矩形槽口宽度，最小外径小于矩形槽口的宽度，当对T型锁紧柄向下施压时，由于平顶圆锥体与矩形槽口形成锥面卡紧，可以有效防止载物小车在进行热氧化过程中的移动，也可以防止由于地面不平造成的倾斜，不能够良好固定载物小车在石英炉管内的某一个位置。

(3)本实用新型操作简单，使用方便，便于应用推广

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的剖视示意图；