[实用新型]一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备

权利要求书

1.一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，包括磁控溅射机构(100)，所述磁控溅射机构(100)的一侧固定连接有磁化箱(200)，所述磁化箱(200)的一侧固定连接有进水管道(300)，其特征在于，所述磁化箱(200)的内侧可拆卸安装有磁化机构(210)，所述磁化机构(210)包括永磁盘(214)、固定连接于永磁盘(214)外侧的固定盘(213)、连接于永磁盘(214)一侧的电控磁铁(211)，所述电控磁铁(211)的输入端电性连接有控制器，所述磁化机构(210)之间相对分布。

2.根据权利要求1所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述磁化箱(200)的内腔安装有分流板(220)，所述分流板(220)的外侧开设有若干分流孔(221)，所述分流板(220)的另一侧与进水管道(300)的一侧相互连通。

3.根据权利要求1所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述固定盘(213)的一侧固定连接有安装环(212)，所述电控磁铁(211)位于安装环(212)的内侧，所述安装环(212)的外侧开设有安装槽，所述安装槽的内侧可拆卸安装有安装盖。

4.根据权利要求2所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述分流板(220)的外侧设有螺旋条，所述螺旋条的外侧与磁化箱(200)的内侧转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述磁化箱(200)的内腔中可拆卸安装有安装架，所述安装架的内侧滑动连接有磁化板(230),所述磁化板(230)之间相对分布。

6.根据权利要求1所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述磁化箱(200)的内侧滑动连接有分隔板(240)，所述分隔板(240)为矽钢材质构件，所述分隔板(240)位于磁化板(230)和磁化机构(210)之间。

7.根据权利要求6所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述分隔板(240)的内侧安装有抽吸水泵，所述抽吸水泵的一侧固定连接有吸水管道，所述抽吸水泵的另一侧与分流板(220)的一侧转动连接。

8.根据权利要求6所述的一种具有磁化冷却水装置的磁控溅射设备，其特征在于，所述分隔板(240)的外侧套接有密封圈，所述密封圈的外侧与磁化箱(200)的内侧相互抵接。