[实用新型]一种清洗机连续上料机构

说明书

本实用新型公开了一种清洗机连续上料机构，涉及硅片加工技术领域，包括滑轨，所述滑轨的上端滑动连接有三个支撑板，三个所述支撑板的上端依次设置一号工装、二号工装及三号工装，所述一号工装、所述二号工装及所述三号工装的下端与三个所述支撑板之间分别设有限位柱，当人员放料后不再需要等待硅片从初始工位传送到末工位，通过一号工装、二号工装及三号工装的设置，能是硅片更顺利的向下一个工位传送，缩短等待时间，减少了清洗机生产的时间，从而提升硅片产量，将上料机构分解成三个工装，在其中一个工装损坏时，依然能保证硅片的运送，从而保证总生产量。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种清洗机连续上料机构。

背景技术

在硅片制造领域中，硅片清洗是很重要的一个环节，清洗机上料台放料后需要利用运动工装将硅片从初始工位传送到末工位，之后机械手臂抓料进行硅片的清洗。目前清洗机上料运行方式无法连续上料，当人员放料后需等待硅片从初始工位传送到末工位，由于等待时间过长，增加了清洗机生产的时间，从而导致硅片产量下降，另一方面清洗机无连续上料的运动工装为一个整体，如损坏无法进行产品的生产，从而影响总生产量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗机连续上料机构，以解决上述背景技术中提出的目前清洗机上料运行方式无法连续上料，当人员放料后需等待硅片从初始工位传送到末工位，由于等待时间过长，增加了清洗机生产的时间，从而导致硅片产量下降，另一方面清洗机无连续上料的运动工装为一个整体，如损坏无法进行产品的生产，从而影响总生产量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种清洗机连续上料机构，包括滑轨，所述滑轨的上端滑动连接有三个支撑板，三个所述支撑板的上端依次设置一号工装、二号工装及三号工装，所述一号工装、所述二号工装及所述三号工装的下端与三个所述支撑板之间分别设有限位柱。

优选的，所述一号工装、所述二号工装及所述三号工装均包括底板，所述底板的上端设有侧板，所述侧板之间通过螺栓连接有上料板，所述上料板的上端设有上料座。

优选的，所述支撑板的上表面且在所述限位住的两端均设有升降气缸的下端，所述升降气缸的上端与所述一号工装、所述二号工装及所述三号工装的下端连接。

优选的，所述滑轨的内部分别设有一号气缸、二号气缸及三号气缸，所述一号气缸、所述二号气缸及所述三号气缸的活动端分别与三个所述支撑板的下端连接。

优选的，所述一号工装、所述二号工装及所述三号工装通过所述限位柱与所述支撑板滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过滑轨滑动连接支撑板，并在支撑板上设置一号工装、二号工装及三号工装，对工件进行运输，代替目前无法连续上料的清洗机上料运行方式，当人员放料后不再需要等待硅片从初始工位传送到末工位，通过一号工装、二号工装及三号工装的设置，能是硅片更顺利的向下一个工位传送，缩短等待时间，减少了清洗机生产的时间，从而提升硅片产量，将上料机构分解成三个工装，在其中一个工装损坏时，依然能保证硅片的运送，从而保证总生产量。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构轴测图；

图2为本实用新型的主体结构主视示意图；

图3为本实用新型的主体结构右视示意图；

图4为本实用新型的主体结构俯视示意图；

图5为本实用新型的主体结构俯视剖视图。

图中：1-滑轨、2-支撑板、3-一号工装、301-底板、302-侧板、303-上料板、304-上料座、4-二号工装、5-三号工装、6-限位柱、7-升降气缸、8-一号气缸、9-二号气缸、10-三号气缸、11-一号工位、12-二号工位、13-三号工位、14-四号工位、15-五号工位。

具体实施方式