[实用新型]晶舟盒有效
申请号: | 202123196595.7 | 申请日: | 2021-12-17 |
公开(公告)号: | CN216698313U | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 聂伟;陈志远 | 申请(专利权)人: | 厦门通富微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 361000 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶舟盒 | ||
1.一种晶舟盒,其特征在于,包括:
壳体,所述壳体的前端设有用于晶圆进出的开口,所述壳体的内壁上设有插槽,以供所述晶圆插在所述插槽处;
手柄,所述手柄设置在所述壳体上;
保护机构,所述保护机构包括:前挡件、压触件和联动组件,所述前挡件在第一位置和第二位置之间可活动地设置在所述壳体上,在所述第一位置时所述前挡件至少部分位于所述插槽的前方以将所述晶圆挡在所述壳体内,在所述第二位置时所述前挡件避开所述插槽的前方,所述压触件设在所述手柄上或临近所述手柄设在所述壳体上,所述联动组件连接在所述前挡件和所述压触件之间;其中,所述压触件相对所述手柄可活动,且所述压触件被压时通过所述联动组件带动所述前挡件活动至所述第一位置。
2.根据权利要求1所述的晶舟盒,其特征在于,所述手柄包括沿前后方向设置的第一把持部,所述第一把持部的前端与所述壳体的前端之间距离,小于所述第一把持部的后端与所述壳体的后端之间距离。
3.根据权利要求2所述的晶舟盒,其特征在于,所述第一把持部的前端与所述壳体的前端之间距离为60-80mm。
4.根据权利要求2所述的晶舟盒,其特征在于,所述手柄还包括上下方向设置的第二把持部,所述第二把持部的下端与所述第一把持部的后端相连。
5.根据权利要求4所述的晶舟盒,其特征在于,所述压触件可活动地连接在所述壳体上,所述压触件位于所述第一把持部的上方且位于所述第二把持部的前侧。
6.根据权利要求1所述的晶舟盒,其特征在于,所述保护机构还包括复位弹性件,所述复位弹性件与所述前挡件、所述压触件和所述联动组件中至少一个相连,所述复位弹性件用于驱动所述前挡件活动至所述第二位置。
7.根据权利要求1所述的晶舟盒,其特征在于,所述压触件转动连接在所述壳体上,当所述前挡件位于所述第二位置时所述压触件相对所述壳体表面的高度高于所述手柄相对所述壳体表面的高度。
8.根据权利要求1所述的晶舟盒,其特征在于,所述插槽为多个,多个所述插槽竖向间隔排布,所述前挡件为竖向延伸的挡板,所述壳体的左侧和右侧中至少一侧设置有所述挡板。
9.根据权利要求8所述的晶舟盒,其特征在于,所述壳体的左右两侧外壁上均设有所述手柄,所述壳体的左右两侧分别设置有所述保护机构。
10.根据权利要求1-8中任一项所述的晶舟盒,其特征在于,所述保护机构符合情况中一个:
情况一:所述前挡件和所述压触件均转动连接在所述壳体上,所述联动组件包括连动杆,所述连动杆的两端分别与所述前挡件和所述压触件相铰接;
情况二:所述前挡件和所述压触件均转动连接在所述壳体上,所述联动组件包括两个相啮合的配合齿轮,所述两个配合齿轮分别连接所述前挡件和所述压触件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造