[实用新型]一种激光干涉仪有效
| 申请号： | 202123203675.0 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN216348361U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 赵婷婷;姬鸿巍;马兰兰 | 申请（专利权）人： | 西安玉沣精密测量科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 张玲 |
| 地址： | 712000 陕西省西安市西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉仪 | ||
1.一种激光干涉仪，包括阶梯反射组件(300)，其特征在于，所述阶梯反射组件(300)包括n个独立的第二反射镜(320)，其中n≥2，且每个所述第二反射镜(320)均设置有移动器件(310)，所述第二反射镜(320)用于反射第一分光镜(200)反射的激光发射组件(100)射出的n束平行激光。
2.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪，其特征在于，所述移动器件(310)包括纳米位移平台或压电陶瓷，所述第二反射镜(320)设置于所述纳米位移平台；
或所述第二反射镜(320)设置于所述压电陶瓷。
3.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪，其特征在于，还包括激光发射组件(100)，所述激光发射组件(100)包括n个激光器(110)，所述激光器(110)与所述第二反射镜(320)对应。
4.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪，其特征在于，还包括第一分光镜(200)，所述第一分光镜(200)用于反射激光和透射激光。
5.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪，其特征在于，还包括第一反射镜(400)，所述第一反射镜(400)用于反射激光。
6.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪，其特征在于，还包括光电探测组件(500)，所述光电探测组件(500)包括n个光电探测器(510)，且所述光电探测器(510)与所述第二反射镜(320)一一对应。
7.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪，其特征在于，所述激光发射组件(100)包括一个激光器(110)、分光镜组(120)和第三反射镜(130)，所述分光镜组(120)包括依次平行设置的n-1个第二分光镜(121)，所述第三反射镜(130)平行设置于所述分光镜组(120)的一端，所述激光器(110)设置于所述分光镜组(120)的另一端并与该处的第二分光镜(121)对应，所述激光器(110)发射出的激光依次经过n-1个第二分光镜(121)和第三反射镜(130)后产生n束平行激光。
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