[实用新型]一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器

权利要求书

1.一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，包括机壳(1)，其特征在于，所述机壳(1)的外缘设置有冷凝罩(2)，所述机壳(1)上固定连通有进气通路(3)与出气通路(7)，所述冷凝罩(2)上固定连通有两个冷源通路(4)，所述机壳(1)的内顶面固定连接有空心柱体(5)，所述空心柱体(5)远离机壳(1)内顶面的一端装配有滤芯(6)，所述滤芯(6)与出气通路(7)的一端相连接，所述机壳(1)的底端设置有可拆卸的收集盒(8)，所述机壳(1)的内部设置有扰流组件(9)，所述空心柱体(5)上设置有振动机构(10)。

2.根据权利要求1所述的一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，其特征在于，所述扰流组件(9)包括套筒(91)与多个扰流件(92)，所述套筒(91)固定套接在空心柱体(5)上，多个所述扰流件(92)呈等间距固定套接在套筒(91)上。

3.根据权利要求1所述的一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，其特征在于，所述振动机构(10)包括轴流扇体(101)、细杆(102)与多个偏心轮(103)，所述细杆(102)的两端均转动装配在空心柱体(5)的内部，所述轴流扇体(101)固定装配在细杆(102)上，多个所述偏心轮(103)呈等间距固定套接在细杆(102)上，且多个偏心轮(103)的外缘均与空心柱体(5)的内面相贴合。

4.根据权利要求2所述的一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，其特征在于，所述扰流件(92)截面的上部为一倾斜斜面，所述扰流件(92)截面的下部为一内凹弧面。

5.根据权利要求3所述的一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，其特征在于，所述空心柱体(5)的外缘开设有两个与轴流扇体(101)正对的进气口。

6.根据权利要求1所述的一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，其特征在于，所述收集盒(8)通过螺纹套接的方式安装在机壳(1)的底端。