[发明专利]振动型陀螺元件和包括该振动型陀螺元件的角速度传感器在审
申请号: | 202180042629.0 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN115917249A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 内纳亮平;森口孝文;冲元直树 | 申请(专利权)人: | 住友精密工业株式会社 |
主分类号: | G01C19/5684 | 分类号: | G01C19/5684 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 李雪;姚开丽 |
地址: | 日本兵库县*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 陀螺 元件 包括 角速度 传感器 | ||
1.一种振动型陀螺元件,其特征在于:
所述振动型陀螺元件至少包括固定部、振子、支承部以及电极,
所述支承部将所述振子与所述固定部连接,并以所述振子能够振动的方式支承所述振子,
所述电极形成在所述振子的面内,
当所述振子具有cosNθ的振动模式且N为2以上的自然数时,
所述电极分别布置在4N个方位,在所述4N个方位,所述电极的轴在所述振子的外周方向上以等角度间隔排列,
在多个所述电极中,分别包括初级驱动电极和次级检测电极,所述初级驱动电极在所述振子上激发cosNθ模式的初级振动,所述次级检测电极检测所述振子的次级振动,
在将所述初级驱动电极布置在与所述次级检测电极的顺时针侧相邻的方位的这一布置状态的数量设为S1,将所述初级驱动电极布置在与所述次级检测电极的逆时针侧相邻的方位的这一布置状态的数量设为S2,并将在与顺时针侧相邻的方位和与逆时针侧相邻的方位都没有布置所述初级驱动电极的所述次级检测电极的个数设为U时,满足下述式(1)或式(2)的关系,
U≥1 (1)
(S1+S2)-2≥|S1-S2| (2)。
2.根据权利要求1所述的振动型陀螺元件,其特征在于:
满足S1=S2的关系。
3.根据权利要求1或2所述的振动型陀螺元件,其特征在于:
所述振动型陀螺元件还包括磁场施加部,所述磁场施加部沿着与所述振子的正面交叉的方向对多个所述电极施加磁场。
4.根据权利要求1到3中任一项所述的振动型陀螺元件,其特征在于:
多个所述电极还包括初级检测电极和次级驱动电极,
所述初级检测电极检测所述初级振动,
所述次级驱动电极驱动所述振子以抵消所述次级振动,
所述初级检测电极与所述初级驱动电极布置在同一方位,
所述次级驱动电极与所述次级检测电极布置在同一方位。
5.一种角速度传感器,其特征在于:
所述角速度传感器至少包括权利要求1到3中任一项所述的振动型陀螺元件、初级交流电源、次级检测部以及运算部,
所述初级交流电源对所述初级驱动电极施加规定频率的交流电流,
所述次级检测部检测所述次级检测电极所产生的电压信号,
所述运算部根据所述次级检测部的输出信号来计算角速度。
6.一种角速度传感器,其特征在于:
所述角速度传感器至少包括权利要求4所述的振动型陀螺元件、初级交流电源、初级检测部、次级交流电源、次级检测部以及运算部,
所述初级交流电源对所述初级驱动电极施加规定频率的交流电流,
所述初级检测部检测所述初级检测电极所产生的电压信号,
所述次级交流电源对所述次级驱动电极施加交流电流,
所述次级检测部检测所述次级检测电极所产生的电压信号,
所述运算部根据所述次级交流电源的输出信号来计算角速度。
7.根据权利要求6所述的角速度传感器,其特征在于:
通过将所述初级检测部的输出信号反馈给所述初级交流电源,从而使由所述振子产生的所述初级振动稳定,
根据所述次级检测部的输出信号来控制所述次级交流电源的输出,从而将由所述振子产生的所述次级振动抵消,
所述运算部根据所述次级交流电源的输出信号来计算角速度。
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