[发明专利]衬垫调节装置清洁系统在审
申请号: | 202180044134.1 | 申请日: | 2021-06-25 |
公开(公告)号: | CN115916465A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 沙塔努·拉吉夫·加吉尔;苏米特·苏巴什·帕坦卡;内森·阿伦·戴维斯;迈克尔·J·考夫林;艾伦·L·丹布拉 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | B24B53/017 | 分类号: | B24B53/017;B24B53/00;B24B37/30;H01L21/67 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬垫 调节 装置 清洁 系统 | ||
1.一种衬垫调节装置头清洁工具,包含:
第一夹具,构造成在第一位置处可移除地接合海绵的第一部分抵靠盘状衬垫调节装置头的外部表面;
第二夹具,构造成在第二位置处可移除地接合所述海绵的第二部分抵靠所述盘状衬垫调节装置头的所述外部表面;和
臂,将所述第一夹具耦接至所述第二夹具,其中所述臂足够弹性以准许所述第一夹具和所述第二夹具分开,以配接在所述盘状衬垫调节装置头四周,且足够拉伸以向内偏移所述第一夹具和所述第二夹具,以按压所述海绵抵靠衬垫调节装置头的外部表面。
2.如权利要求1所述的工具,其中所述臂是弓形的。
3.如权利要求1所述的工具,其中所述第一夹具和所述第二夹具是弓形的。
4.如权利要求3所述的工具,其中当所述衬垫调节装置头清洁工具紧固至所述衬垫调节装置头时,所述第一夹具和所述第二夹具的弧形的中心是所述调节装置头的中心。
5.如权利要求1所述的工具,其中所述第一夹具是单一件,且所述第二夹具是单一件。
6.如权利要求5所述的工具,其中所述第一夹具和所述第二夹具的每个具有上部凸缘和下部凸缘,所述上部凸缘和所述下部凸缘构造成容纳所述调节装置头。
7.如权利要求5所述的工具,其中所述第一夹具和所述第二夹具的每个的所述外部表面的部分是凹陷的。
8.如权利要求1所述的工具,其中所述第一夹具、所述第二夹具和所述臂是单一弓形主体,具有在所述第一夹具和所述第二夹具之间的间隙,所述间隙构造成容纳所述海绵。
9.如权利要求1所述的工具,进一步包含海绵。
10.如权利要求9所述的工具,其中所述海绵是干式海绵。
11.如权利要求9所述的工具,其中所述海绵是湿式海绵。
12.如权利要求9所述的工具,其中所述海绵是盘状的。
13.一种衬垫调节装置头清洁方法,包含以下步骤:
在衬垫调节装置头清洁工具中的间隙中安装海绵,所述衬垫调节装置头清洁工具包含:
第一夹具,构造成在第一位置处可移除地接合海绵的第一部分抵靠盘状衬垫调节装置头的外部表面;
第二夹具,构造成在第二位置处可移除地接合所述海绵的第二部分抵靠所述盘状衬垫调节装置头的所述外部表面;和
臂,将所述第一夹具耦接至所述第二夹具,其中所述臂足够弹性以准许所述第一夹具和所述第二夹具分开,以配接在所述盘状衬垫调节装置头四周,且足够拉伸以向内偏移所述第一夹具和所述第二夹具,以按压所述海绵抵靠衬垫调节装置头的外部表面;
迫使所述海绵与所述衬垫调节装置头接触;和
以所述海绵削抹所述衬垫调节装置头。
14.如权利要求13所述的方法,其中在所述衬垫调节装置头清洁工具中的所述间隙中安装所述海绵的步骤进一步包含以下步骤:
延伸所述第一夹具以移动所述海绵至所述间隙中;
将所述海绵的第一部分设置于所述间隙中且在所述第一夹具内部;
释放所述第一夹具以保持所述海绵的所述第一部分;
延伸所述第二夹具以移动所述海绵至所述间隙中;
将所述海绵的第二部分设置于所述间隙中且在所述第二夹具内部;和
释放所述第二夹具以保持所述海绵的所述第二部分。
15.如权利要求13所述的方法,进一步包含以下步骤:从衬垫调节装置头移除所述衬垫调节装置头清洁工具。
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