[发明专利]用于CMP处理的基板搬运系统及方法

权利要求书

1.一种基板抛光系统，包括：

基板对准站；

多个抛光站，各自包括可旋转抛光平台；

基板载体装载站；

基板搬运器，包括具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧的终端受动器；以及

计算机可读介质，具有储存于其上以用于基板处理方法的指令，所述方法顺序地包括以下步骤：

(a)将基板的第一表面压靠在多个抛光垫中的一者上，其中所述多个抛光垫设置在所述多个可旋转抛光平台中的对应的可旋转抛光平台上；

(b)使用所述终端受动器的所述第一侧将所述基板从所述基板载体装载站传送至所述基板对准站；

(c)使用所述终端受动器的所述第一侧将所述基板从所述基板对准站传送至所述基板载体装载站；以及

(d)将所述基板的第二表面压靠在所述多个抛光垫中的一者上。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述基板搬运器进一步包括臂，所述臂沿着高架轨道在所述基板对准站与设置于基板保持区域中的基板盒之间是可移动的，且其中所述终端受动器可旋转地耦接至所述臂。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述高架轨道与限定所述基板保持区域的盆件的第一纵向轴线对准，且其中所述终端受动器围绕基本上正交于所述第一轴线的第二轴线是可旋转的。

4.根据权利要求3所述的系统，其中(b)将所述基板从所述基板载体装载站传送至所述基板对准站的步骤包括以下步骤：使所述终端受动器与所述基板的所述第二表面接合，且其中(c)将所述基板从所述基板对准站传送至所述基板载体装载站的步骤包括以下步骤：

使所述终端受动器围绕所述第二轴线旋转约180度；以及

在旋转之后，将所述终端受动器的所述第一侧接合至所述基板的所述第一表面。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述基板搬运器进一步包括被配置以使所述终端受动器围绕所述第二轴线相对于所述臂旋转的腕部组件。

6.根据权利要求4所述的系统，其中使所述终端受动器围绕所述第二轴线旋转约180度反转所述终端受动器的第一侧及第二侧的定向。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述基板载体装载站包括装载杯件，所述方法进一步包括以下步骤：

将所述基板从所述多个抛光站中的一者传送至所述装载杯件，其中在所述传送之后，所述基板的所述第一表面相对于所述装载杯件处于面朝下的定向；以及

将所述基板从所述装载杯件传送至所述多个抛光站中的一者，其中在所述传送之前，所述基板的所述第二表面相对于所述装载杯件处于面朝下的定向。

8.一种用于处理基板的方法，包括以下步骤：

(a)将基板的第一表面压靠在多个抛光垫中的一者上，其中所述多个抛光垫设置在多个可旋转抛光平台中的对应的可旋转抛光平台上；

(b)使用终端受动器的第一侧将所述基板从基板载体装载站传送至基板对准站；

(c)使用所述终端受动器的所述第一侧将所述基板从所述基板对准站传送至所述基板载体装载站；以及

(d)将所述基板的第二表面压靠在所述多个抛光平台中的一者上。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述终端受动器可旋转地耦接至臂，所述方法进一步包括以下步骤：使所述臂沿着高架轨道在所述基板对准站与基板盒之间移动。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述臂沿着所述高架轨道的第一轴线移动，所述方法进一步包括以下步骤：使所述终端受动器围绕基本上正交于所述第一轴线的第二轴线旋转。