[发明专利]一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构

权利要求书

1.一种转动组件，其特征在于，所述转动组件包括：

轴座；

转轴；所述轴座与所述转轴通过轴承转动连接；

旋转密封件，所述旋转密封件与所述轴承同轴设置，所述旋转密封件包括相互连接的旋转端和固定端，所述旋转端与所述转轴连接，所述固定端与所述轴座连接，所述固定端设置有贯穿所述固定端的第一气流道；以及

隔离件，所述隔离件一端与所述固定端连接，且所述隔离件的自由端与所述转轴之间围设成第二气流道，所述第二气流道与所述第一气流道连通，使气体能依次流过所述第一气流道和所述第二气流道。

2.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括防尘罩，所述防尘罩一端与所述转轴连接，所述隔离件的自由端位于所述防尘罩的自由端与所述转轴之间的缝隙，所述防尘罩与所述隔离件之间形成第三气流道，所述第三气流道与所述第二气流道连通。

3.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述旋转密封件为磁流体密封件，所述第一气流道设置于所述磁流体密封件；

或者，所述旋转密封件为相互连接的油封座和油封，所述油封座与所述轴座连接，所述油封与所述转轴连接，所述第一气流道设置于所述油封座。

4.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述固定端设置有贯穿所述固定端的多个所述第一气流道；多个所述第一气流道沿所述转轴的轴线方向间隔分布，每个所述第一气流道均与所述第二气流道连通。

5.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述轴座设置有贯穿所述轴座的第四气流道，所述第四气流道与所述第一气流道连通。

6.根据权利要求5所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括沿所述转轴的轴线方向延伸的保护套，所述保护套一端与所述轴座连接，另一端与所述转轴滑动连接，所述保护套与所述转轴之间具有第五气流道，使气体能依次流经所述第四气流道、所述第一气流道、所述第二气流道、所述第五气流道，然后从所述转轴与所述保护套之间的缝隙流出。

7.根据权利要求6所述的转动组件，其特征在于，所述保护套为波纹管。

8.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括沿所述转轴的轴线方向延伸的保护套，所述保护套一端与所述固定端连接，另一端与所述转轴滑动连接，所述保护套与所述转轴之间具有第五气流道，使气体能依次流经所述第一气流道、所述第二气流道、所述第五气流道、所述转轴与所述保护套连接位置然后流至所述保护套外。

9.根据权利要求8所述的转动组件，其特征在于，所述保护套为波纹管。

10.根据权利要求6-9任一项所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括隔热套，所述隔热套套设于所述转轴外并与所述保护套连接，且所述隔热套位于所述保护套和所述转轴之间。

11.根据权利要求1-9任一项所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括进液管和出液管，所述出液管与所述轴座连接；所述进液管与所述出液管通过旋转水套转动连接；所述转轴靠近轴座的一端设置有容纳腔，所述进液管伸入所述容纳腔内并与所述容纳腔连通，所述容纳腔与所述出液管连通。

12.一种单晶炉用坩埚驱动机构，其特征在于，所述单晶炉用坩埚驱动机构包括：

安装座；

权利要求1-11任一项所述的转动组件；所述轴座与所述安装座连接，所述转轴远离所述轴座的一端用于连接坩埚；以及

直线驱动组件；所述直线驱动组件与所述安装座连接，以驱动所述安装座和所述转动组件能做直线运动。