[发明专利]一种六自由度的空气弹簧隔振平台

权利要求书

1.一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，包括高压气源、隔振负载、垂直隔振器和水平隔振器，所述垂直隔振器设置于所述隔振负载的四角，所述水平隔振器设置于所述垂直隔振器之间的区域，其中：

所述垂直隔振器自下而上包括底座、第一空气轴承和垂直空气弹簧，所述高压气源分别连接所述第一空气轴承和所述垂直空气弹簧，并在所述第一空气轴承与所述底座之间形成可供所述垂直隔振器移动和转动的第一压力气膜导轨，所述垂直空气弹簧通过调节内部压力衰减所述垂直隔振器受到的振动干扰；

所述水平隔振器包括底板、垂直立柱、第二空气轴承、水平空气弹簧和第二顶板，所述第二顶板与所述隔振负载固定连接，两组所述水平空气弹簧关于所述垂直立柱对称设置于所述第二顶板上，所述垂直立柱设置于所述底板上并与所述第二顶板之间存在间隙，所述第二空气轴承设置于所述水平空气弹簧与所述垂直立柱之间，所述高压气源分别连接所述第二空气轴承和所述水平空气弹簧，并在所述第二空气轴承和所述水平空气弹簧之间形成可供所述水平隔振器移动和转动的第二压力气膜导轨，所述水平空气弹簧通过两组水平空气弹簧之间的气路连通衰减所述水平隔振器受到的振动干扰。

2.根据权利要求1所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述垂直空气弹簧包括第一顶板、缓震圈、弹性膜、压环、盖板和气缸，所述盖板与所述气缸的内部密封配合并将所述气缸分割为上气腔和下气腔，所述压环将所述弹性膜密封固定于所述缓震圈下方的所述气缸的口部，所述缓震圈设置于所述第一顶板与所述气缸之间。

3.根据权利要求2所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于所述弹性膜、所述压环和所述缓震圈均为环形结构。

4.根据权利要求2所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述压环为金属材质，包括外压环和内压环，所述弹性膜的圆周直径小于所述外压环的圆周直径，所述内压环的圆周直径与所述弹性膜的圆周直径相同。

5.根据权利要求2所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述上气腔和所述下气腔之间通过所述气缸的外部管道连接，且所述外部管道上设置有节流阀。

6.根据权利要求5所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述气缸的外部还设置有用于防止所述垂直空气弹簧过冲的保护装置。

7.根据权利要求1所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述第一空气轴承为圆柱体结构，在所述圆柱体结构的圆周方向等距设置有8个进气口，并在所述圆柱体结构的内部交汇形成一方形气道，交汇点处设置有通向所述第一空气轴承底部的第一节流孔，所述第一空气轴承可上下位移以及可转动地设置于所述底座上。

8.根据权利要求1所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述第二空气轴承为圆柱体结构，在其圆周表面等距设置有6个进气口，并在所述第二空气轴承内部交汇形成一六边形气道，交汇点处设置有通往所述第二空气轴承的底部的第二节流孔，所述第二空气轴承的底部与一个所述水平空气弹簧相对应。

9.根据权利要求8所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，所述水平空气弹簧与所述第二空气轴承对应的一侧设置有波纹管，所述波纹管的一端与所述水平空气弹簧的气腔密封连接，另一端密封设置有用于挡住所述第二节流孔的金属板，所述波纹管在受到气体压力膨胀的同时所述第二空气轴承经所述第二节流孔作用在所述第二空气轴承与所述金属板之间形成所述第二压力气膜导轨。

10.根据权利要求8所述的一种六自由度的空气弹簧隔振平台，其特征在于，两个所述水平空气弹簧相对面的底部上设置有防撞橡胶。