[发明专利]电光调制器和电光器件

权利要求书

1.一种电光调制器，包括：

衬底；

隔离层，所述隔离层位于所述衬底上；

薄膜层，所述薄膜层用于形成第一光波导和第二光波导，其中，所述第一光波导和所述第二光波导的布置使得所述薄膜层包括第一边缘区域、所述第一光波导、中间区域、所述第二光波导以及第二边缘区域；以及

电极，所述电极包括依次间隔排列设置的第一地电极、信号电极和第二地电极，其中，所述第一地电极至少包括第一主电极，所述第二地电极至少包括第二主电极，所述信号电极至少包括第三主电极，所述第一光波导被布置在所述第一主电极和与所述第三主电极之间的第一间隙中，所述第二光波导被布置在所述第二主电极和所述第三主电极之间的第二间隙中，并且，所述第一主电极和所述第二主电极被布置在具有第一高度的水平面上，所述第三主电极被布置在具有第二高度的水平面上，所述第一高度不同于所述第二高度。

2.根据权利要求1所述的电光调制器，其中，

所述电极形成于所述薄膜层远离所述衬底的一侧。

3.根据权利要求1所述的电光调制器，其中，

所述第一主电极和所述第二主电极嵌入所述薄膜层，并且穿透所述薄膜层与所述隔离层直接接触；或者

所述第一主电极和所述第二主电极嵌入所述薄膜层，并且未穿透所述薄膜层。

4.根据权利要求1所述的电光调制器，其中，

所述第三主电极嵌入所述薄膜层，并且穿透所述薄膜层与所述隔离层直接接触；或者

所述第三主电极嵌入所述薄膜层，并且未穿透所述薄膜层。

5.根据权利要求1所述的电光调制器，还包括：

覆盖层，所述覆盖层至少部分地覆盖所述薄膜层的上表面，所述覆盖层的折射率低于所述薄膜层的折射率。

6.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述覆盖层覆盖所述中间区域的上表面，

其中，所述第一主电极和所述第二主电极位于所述薄膜层上，所述第三主电极位于所述覆盖层上。

7.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述第三主电极嵌入所述覆盖层，并且穿透所述覆盖层与所述薄膜层直接接触；或者

所述第三主电极嵌入所述覆盖层，并且未穿透所述覆盖层。

8.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述覆盖层覆盖所述第一边缘区域和所述第二边缘区域的上表面，

其中，所述第一主电极和所述第二主电极位于所述覆盖层上，所述第三主电极位于所述薄膜层上。

9.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述第一主电极和所述第二主电极嵌入所述覆盖层，并且穿透所述覆盖层与所述薄膜层直接接触；或者

所述第一主电极和所述第二主电极嵌入所述覆盖层，并且未穿透所述覆盖层。

10.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述覆盖层覆盖所述薄膜层的上表面，

其中，所述第一主电极、所述第二主电极和所述第三主电极位于所述覆盖层上，并且，所述覆盖层的设置所述第一主电极和所述第二主电极的部分与所述覆盖层的设置所述第三主电极的部分具有不同的厚度。

11.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述覆盖层的介电常数小于所述第一光波导和所述第二光波导的介电常数。

12.根据权利要求5所述的电光调制器，其中，

所述覆盖层为绝缘层。