[发明专利]电光调制器和电光器件

说明书

一种电光调制器和电光器件。电光调制器包括：衬底；隔离层，位于衬底上；薄膜层，用于形成第一光波导和第二光波导，第一光波导和第二光波导的布置使得薄膜层包括第一边缘区域、第一光波导、中间区域、第二光波导以及第二边缘区域；电极，包括依次间隔排列的第一地电极、信号电极和第二地电极，第一地电极至少包括第一主电极，第二地电极至少包括第二主电极，信号电极至少包括第三主电极，第一光波导布置在第一主电极和与第三主电极之间的第一间隙中，第二光波导布置在第二主电极和第三主电极之间的第二间隙中，第一主电极和第二主电极布置在具有第一高度的水平面上，第三主电极布置在具有第二高度的水平面上，第一高度不同于第二高度。

本申请要求2021年09月15日提交的申请号为202111082353.7的发明专利申请的优先权，本申请所要求优先权的公开通过引用全文并入本文。

技术领域

本公开涉及光电技术，特别是涉及一种电光调制器和电光器件。

背景技术

电光调制器是利用某些电光晶体如铌酸锂晶体(LiNbO₃)、砷化稼晶体(GaAs)或钽酸锂晶体(LiTaO₃)的电光效应制成的调制器。当把电压加到电光晶体上时，电光晶体的折射率将发生变化，从而实现对光信号的相位、幅度、强度以及偏振状态等特性的调制。电光调制器中常见的一种调制器为马赫-曾德尔调制器，这种干涉仪式调制器主要是利用调制器中两臂的相位差完成相干加强和相干抵消的信号调制。

然而，为了实现光传输速度和电传输速度的匹配，传统电光调制器中共面波导传输线的传输损耗特别大。因此，人们进一步提出了带电极延伸部的共面波导传输线，以解决传输损耗大的问题。但是随着应用中对于高速、大容量、集成化通信技术日益的迫切需求，人们既希望尽量减小传输损耗，同时需要保证光传输速度和电传输速度的匹配。这就通常要对衬底层厚度或者材料提出特殊的要求，从而大大限制了这种电极延伸部结构的适用性。

发明内容

提供一种缓解、减轻或者甚至消除上述问题中的一个或多个的机制将是有利的。

根据本公开的一方面，提供了一种电光调制器，包括：衬底；隔离层，所述隔离层位于所述衬底上；薄膜层，所述薄膜层用于形成第一光波导和第二光波导，其中，所述第一光波导和所述第二光波导的布置使得所述薄膜层包括第一边缘区域、所述第一光波导、中间区域、所述第二光波导以及第二边缘区域；以及，电极，所述电极包括依次间隔排列设置的第一地电极、信号电极和第二地电极，其中，所述第一地电极至少包括第一主电极，所述第二地电极至少包括第二主电极，所述信号电极至少包括第三主电极，所述第一光波导被布置在所述第一主电极和与所述第三主电极之间的第一间隙中，所述第二光波导被布置在所述第二主电极和所述第三主电极之间的第二间隙中，并且，所述第一主电极和所述第二主电极被布置在具有第一高度的水平面上，所述第三主电极被布置在具有第二高度的水平面上，所述第一高度不同于所述第二高度。

根据本公开的另一方面，提供了一种电光器件，包括如上所述的电光调制器。

根据在下文中所描述的实施例，本公开的这些和其它方面将是清楚明白的，并且将参考在下文中所描述的实施例而被阐明。

附图说明

在下面结合附图对于示例性实施例的描述中，本公开的更多细节、特征和优点被公开，在附图中：

图1是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；

图2是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；

图3是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；

图4是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；

图5是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；

图6是根据示例性实施例的电光调制器的示意性立体图；