[发明专利]准分子灯、准分子灯的点亮方法以及准分子灯的制造方法

权利要求书

1.一种准分子灯，其特征在于，

该准分子灯具有：

电介质，其覆盖沿着灯轴向配设的箔状电极；以及

放电容器，其与所述电介质熔接而形成主放电空间，

在所述主放电空间的灯轴向范围内，所述箔状电极与所述电介质局部地封接，以便在所述电介质的内侧形成辅助放电空间。

2.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

所述箔状电极在所述箔状电极的长度方向的至少一个端部与所述电介质熔接，

所述辅助放电空间以使电场强度沿着灯轴向和灯周向中的至少一个方向不同的方式形成在所述箔状电极的表面与所述电介质的内表面之间。

3.根据权利要求2所述的准分子灯，其特征在于，

所述箔状电极沿着所述箔状电极的灯轴向和灯周向中的至少一个方向在电场强度较低的区域中与所述电介质封接，在电场强度较高的区域中形成所述辅助放电空间。

4.根据权利要求2所述的准分子灯，其特征在于，

所述箔状电极沿着所述箔状电极的灯轴向和灯周向中的至少一个方向在电场强度较高的区域中与所述电介质封接，在电场强度较低的区域中形成所述辅助放电空间。

5.根据权利要求3所述的准分子灯，其特征在于，

所述箔状电极的缘部在所述辅助放电空间中从所述电介质的内表面分离。

6.根据权利要求4所述的准分子灯，其特征在于，

所述箔状电极的缘部在所述辅助放电空间中与所述电介质熔接。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的准分子灯，其特征在于，

所述电介质的前端部的前端位置进入到设置于所述放电容器的前端的小径部，

所述箔状电极的沿着灯轴的前端位置位于比所述小径部靠后端侧的位置。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的准分子灯，其特征在于，

所述辅助放电空间形成为：缘部侧的沿着所述箔状电极的宽度方向的所述电介质与所述箔状电极的距离间隔比中央部的沿着所述箔状电极的宽度方向的所述电介质与所述箔状电极的距离间隔短。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的准分子灯，其特征在于，

所述辅助放电空间形成为：端部侧的沿着所述箔状电极的长度方向的所述电介质与所述箔状电极的距离间隔比中央部的沿着所述箔状电极的长度方向的所述电介质与所述箔状电极的距离间隔短。

10.一种准分子灯的点亮方法，该准分子灯具有：

内侧管，其覆盖沿着灯轴向配设的内侧电极；以及

外侧管，其与所述内侧管的扩径部熔接而在所述外侧管与所述内侧管之间形成主放电空间，

其特征在于，

在所述内侧电极的表面与所述内侧管的内表面之间形成辅助放电空间，

将从所述辅助放电空间朝向灯轴向放射的光的一部分通过所述内侧管的主放电空间侧的前端部和所述扩径部而照射到所述主放电空间。

11.一种准分子灯的制造方法，其特征在于，

该准分子灯的制造方法包含以下的工序：

将箔状的内侧电极插入到作为内侧管的玻璃管内；

使所述内侧管内成为减压状态而进行密封，或者在大气压以下将稀有气体封入到所述内侧管内；以及

对所述内侧管进行加热、缩径，并使所述内侧管与所述内侧电极局部地封接，以便在所述内侧管内的沿着管轴方向的至少一部分形成辅助放电空间。

12.根据权利要求11所述的准分子灯的制造方法，其特征在于，

通过将外侧管与所述内侧管的扩径部一体地加热熔接而形成主放电空间。