[发明专利]一种飞秒激光制备适用于检测人体运动的柔性传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种激光制备图案化透明导电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)混合PDMS和交联剂，制备透明柔性的PDMS基底；

2)用氧气等离子体辐照PDMS基底；

3)在步骤2)的PDMS基底上旋涂银纳米线浆料，并使浆料干燥；

4)在银纳米线浆料表面覆盖透光片，并施加一定的压力；

5)飞秒激光穿过透光片，扫描PDMS基底上的银纳米线浆料，使银纳米线互连；

6)去除透光片，旋涂PDMS，封装互连后的银纳米线。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤1)中，PDMS和交联剂的重量比为5:1～15:1。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤2)中，氧气等离子体辐照的功率为40-100W，辐照时间为20～100s。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤3)中，银纳米浆料浓度为1～25mg/ml；旋涂银纳米线的速度为200～500rpm，旋涂时间为20～100s。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤4)中，施加的压力值为0.1～5N。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤5)中，透光片为表面平整的刚性透光片，选自普通玻璃、聚氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚甲基丙烯酸甲酯。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤5)中，飞秒激光的扫描速度为40～640mm/s，光斑直径为5～30um，脉冲宽度为100～600fs，激光的脉冲频率为10～100kHz，激光的功率为20～250mW，激光的波长为248～1064nm。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤5)中，银纳米线直径为20～200nm，长度为10～50μm。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤6)中，旋涂PDMS的速度为200～500rpm，旋涂时间为10～70s。

10.一种激光制备图案化透明导电薄膜，其特征在于：采用权利要求1-9任一项所述的方法制备。