[发明专利]基板制备方法及显示面板在审
| 申请号： | 202210084370.2 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN116520643A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张宇 | 申请（专利权）人： | 成都辰显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 611731 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 方法 显示 面板 | ||
1.一种基板制备方法，其特征在于，包括：
提供待加工基板，所述待加工基板具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面形成有对位标记部；
翻转所述待加工基板，以使所述第一表面和所述第二表面互换位置；
在所述待加工基板的第二表面上涂覆光刻胶；
将所述待加工基板固定于固定板，所述第一表面和所述固定板相对设置，且所述固定板和所述待加工基板的厚度之间的差值小于或者等于预设值；
将曝光部和所述对位标记部进行对位，并通过所述曝光部对所述待加工基板的第二表面进行曝光。
2.根据权利要求1所述的基板制备方法，其特征在于，在所述提供待加工基板和翻转所述待加工基板的步骤之间，还包括：
在所述对位标记部背离所述待加工基板一侧和所述第一表面未被所述对位标记部覆盖的部分上涂覆光刻胶。
3.根据权利要求1所述的基板制备方法，其特征在于，在所述将所述待加工基板固定于固定板的步骤中，包括：
所述固定板形成有用于容纳所述对位标记部的容纳槽，所述容纳槽的深度大于或者等于所述对位标记部的高度。
4.根据权利要求3所述的基板制备方法，其特征在于，在所述将所述待加工基板固定于固定板的步骤中，包括：
所述固定板形成有至少一个限位件，以通过所述限位件限制所述待加工基板移动。
5.根据权利要求4所述的基板制备方法，其特征在于，所述限位件的数量大于或者等于两个，且各个所述限位件关于所述容纳槽的中心对称分布。
6.根据权利要求1所述的基板制备方法，其特征在于，在所述将所述待加工基板固定于固定板的步骤中：
所述固定板和所述待加工基板的厚度相等。
7.根据权利要求1所述的基板制备方法，其特征在于，在所述将所述待加工基板固定于固定板的步骤中：
所述预设值为10μm～20μm。
8.根据权利要求1所述的基板制备方法，其特征在于，在所述将所述待加工基板固定于固定板的步骤中，包括：
所述固定板为透明板体；
优选地，所述透明板体为透明玻璃或透明聚酰亚胺。
9.根据权利要求1所述的基板制备方法，其特征在于，在所述提供待加工基板的步骤中，包括：
对所述待加工基板的第一表面进行图案化处理以形成第一图案层，所述第一图案层包括所述对位标记部。
10.一种显示面板，其特征在于，包括：采用权利要求1至9任一项所述的基板制备方法所制备的基板。
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