[发明专利]晶圆清洗设备及其传输装置

权利要求书

1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括晶圆装载部(100)、支撑基座(200)、第一调节组件(300)和第二调节组件(400)，其中：

所述晶圆装载部(100)包括装载支架(110)，所述支撑基座(200)包括支撑基板(210)，所述装载支架(110)与所述支撑基板(210)相连，且所述装载支架(110)在所述支撑基板(210)的支撑面上位置可调；

所述第一调节组件(300)与所述装载支架(110)配合，且用于调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在第一方向的位置，所述第二调节组件(400)与所述装载支架(110)配合，且用于调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在第二方向的位置，所述第一方向与所述第二方向均与所述支撑面平行，且所述第一方向与所述第二方向不同。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一调节组件(300)包括第一调节板(310)、第一调节机构(330)和第一螺栓(320)，所述装载支架(110)与所述第一调节板(310)相连，所述第一调节板(310)开设有沿所述第一方向延伸的第一条形孔(311)，所述第一螺栓(320)穿过所述第一条形孔(311)、且连接于所述支撑基板(210)，以使所述第一调节板(310)与所述支撑基板(210)相连，且所述第一调节板(310)位于所述支撑面的一侧；

在第一状态下，所述第一调节板(310)通过所述第一螺栓(320)与所述支撑基板(210)固定连接；

在第二状态下，所述第一调节机构(330)可调节所述第一调节板(310)沿所述第一方向移动，以调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在所述第一方向的位置，所述第一螺栓(320)可相对所述第一条形孔(311)在所述第一方向滑动。

3.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一调节机构(330)包括拖拽支架(331)和拖拽螺栓(332)，所述拖拽支架(331)与所述支撑基板(210)固定连接，所述拖拽支架(331)开设有贯穿设置的第一通孔(331a)，所述拖拽螺栓(332)的第一端的螺帽设有环状凹槽，所述第一通孔(331a)套设于所述环状凹槽，以限制所述拖拽螺栓(332)在所述第一通孔(331a)处沿所述第一通孔(331a)的轴线方向移动，所述拖拽螺栓(332)可相对所述第一通孔(331a)转动，所述拖拽螺栓(332)的第二端与所述第一调节板(310)螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第二调节组件(400)包括第二调节板(410)、第二调节机构(430)和第二螺栓(420)，所述装载支架(110)与所述第二调节板(410)相连，所述第二调节板(410)开设有沿所述第二方向延伸的第二条形孔(411)，所述第二螺栓(420)穿过所述第二条形孔(411)与所述第一调节板(310)相连，以使所述第二调节板(410)连于所述第一调节板(310)的背离所述支撑基板(210)的一侧；

在第三状态下，所述第二调节板(410)通过所述第二螺栓(420)与所述第一调节板(310)固定连接；

在第四状态下，所述第二调节机构(430)可调节所述第二调节板(410)沿所述第二方向移动，以调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在所述第二方向的位置，所述第二螺栓(420)可相对所述第二条形孔(411)在所述第二方向滑动。

5.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第二调节机构(430)包括两个第一顶丝(431)和两个第一安装块(432)，所述两个第一安装块(432)设于所述第一调节板(310)，且分别设于所述第二调节板(410)的沿所述第二方向的两侧，且设于所述第二调节板(410)的沿所述第二方向的中心轴线上，所述两个第一顶丝(431)分别对应与所述两个第一安装块(432)的第一螺纹孔螺纹配合，所述第一顶丝(431)可通过与所述第一螺纹孔螺纹的配合抵接于所述第二调节板(410)，且可推动所述第二调节板(410)沿所述第二方向移动。