[发明专利]一种紫外固体激光器

说明书

本发明涉及一种紫外固体激光器，涉及固体激光器技术领域，包括：泵浦模块，激光增益模块，倍频模块以及激光转换模块。倍频模块包括：二倍频平面晶体、三倍频非平面晶体和紫外绿光高反高透镜；激光转换模块包括：反射镜、CLBO四倍频晶体和布鲁斯特等腰棱镜。泵浦模块产生泵浦光后，经激光增益模块转化为红外激光，然后分别经过二倍频平面晶体和三倍频非平面晶体转化成532nm脉冲激光和355nm脉冲激光。同时532nm脉冲激光被反射至CLBO四倍频晶体内产生266nm脉冲激光，再经过布鲁斯特等腰棱镜，分离并输出266nm脉冲激光，从而实现532nm脉冲激光、355nm脉冲激光和266nm脉冲激光的同时输出。

技术领域

本发明涉及固体激光器技术领域，特别是涉及一种紫外固体激光器。

背景技术

紫外固体激光器，是输出波段在紫外区的固体激光器的统称，它使用固体激光材料作为工作物质，在光数据储存、光刻技术、光盘控制、微加工、大气探测、光生物学以及医疗等领域有广泛的应用，紫外固体激光器按泵浦方式分为氙灯泵浦紫外激光器、氪灯泵浦紫外激光器以及新型的激光二极管泵浦全固态激光器。

目前，各类激光器已广泛应用于军事、工业、通讯、医疗、科研等许多领域，引起了革命性的突破。固体激光器更是在日常生活中占据重要的地位，例如食品标识、半导体材料加工、切割焊接、医疗设备等等，根据用途的不同，紫外激光器应用在打标、切割加工等，绿光激光器也应用图像显示、近视手术等不同行业。

然而，现有的激光器一般只能实现单一的脉冲激光的输出，很难同时满足不同种类的需求，因此，本领域亟需一种可以同时输出多种脉冲激光的技术方案。

发明内容

本发明的目的是提供一种紫外固体激光器，通过倍频晶体、紫外绿光高反高透镜、反射镜以及等腰棱镜等，实现532nm脉冲激光、355nm脉冲激光和266nm脉冲激光的同时输出，解决了现有技术中只能实现单一的脉冲激光输出的问题。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种紫外固体激光器，包括：泵浦模块，激光增益模块，倍频模块以及激光转换模块；

所述倍频模块包括：二倍频平面晶体、三倍频非平面晶体和紫外绿光高反高透镜；所述紫外绿光高反高透镜两面均镀膜，与所述二倍频平面晶体靠近的一面镀绿光高反紫外高透膜，另一面镀紫外高反绿光高透膜；

所述激光转换模块包括：反射镜、CLBO四倍频晶体和布鲁斯特等腰棱镜；所述反射镜与所述紫外绿光高反高透镜呈预设角度设置；

所述泵浦模块将基态电子直接泵浦到激光发射能级产生泵浦光，所述激光增益模块将所述泵浦光转化为红外激光；所述红外激光经过所述二倍频平面晶体转化成532nm脉冲激光；所述红外激光经过所述三倍频非平面晶体转化成355nm脉冲激光；利用紫外绿光高反高透镜将所述532nm脉冲激光和所述355nm脉冲激光分别输出；

所述532nm脉冲激光入射至所述反射镜，并由所述反射镜反射至所述CLBO四倍频晶体内产生266nm脉冲激光，经过所述布鲁斯特等腰棱镜，利用色散效应分离所述532nm脉冲激光和所述266nm脉冲激光，并输出所述266nm脉冲激光。

在一些实施例中，所述泵浦模块包括泵浦二极管、温度控制器和直流驱动电源；

所述泵浦二极管在所述直流驱动电源的驱动下产生泵浦光；所述温度控制器用于控制所述泵浦二极管的温度；所述泵浦光的波长为808nm。

在一些实施例中，所述泵浦模块还包括依次设置在所述泵浦二极管输出光方向上的耦合透镜；

所述耦合透镜用于调整泵浦光模式。

在一些实施例中，所述耦合透镜还用于调整泵浦光入射平面单块晶体的角度和位置。