[发明专利]一种晶圆固定环及具有其的CMP设备在审
| 申请号： | 202210244136.1 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114505784A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 唐强;蒋锡兵 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王月 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固定 具有 cmp 设备 | ||
1.一种晶圆固定环，其特征在于，包括：
固定环本体(1)；
多个第一排出槽(2)，设于所述固定环本体(1)的研磨面上，所述第一排出槽(2)从所述固定环本体(1)的内圆边缘延伸至所述固定环本体(1)的外圆边缘；
多个第二排出槽(3)，与所述第一排出槽(2)连通且与所述第一排出槽(2)一一对应设置，所述第二排出槽(3)与所述第一排出槽(2)成角度设置，所述第二排出槽(3)由所述第一排出槽(2)延伸至所述固定环本体(1)的外圆边缘。
2.根据权利要求1所述的晶圆固定环，其特征在于，所述第一排出槽(2)和/或所述第二排出槽(3)为弧形槽。
3.根据权利要求2所述的晶圆固定环，其特征在于，所述弧形槽的弯曲方向与所述固定环本体(1)的转动方向相反。
4.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆固定环，其特征在于，所述第二排出槽(3)贯穿所述第一排出槽(2)，且延伸至所述固定环本体(1)的内圆边缘。
5.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆固定环，其特征在于，所述第二排出槽(3)与所述第一排出槽(2)之间的夹角为30°～90°。
6.根据权利要求5所述的晶圆固定环，其特征在于，所述第二排出槽(3)与所述第一排出槽(2)之间的夹角为45°。
7.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆固定环，其特征在于，所述第二排出槽(3)与所述第一排出槽(2)的交点处距离所述固定环本体(1)外圆边缘的距离为所述第一排出槽(2)长度的1/3～2/3。
8.一种CMP设备，其特征在于，具有权利要求1至7中任一项所述的晶圆固定环。
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