[发明专利]一种滤网探针

权利要求书

1.一种滤网探针，其特征在于，包括双窗口固定模块（2）、滤网采样气室（4）、平面反射镜固定模块（7）和镜片吹扫结构，所述镜片吹扫结构包括隔热腔模块（1）、送气管（5）、前端吹扫气环腔模块（3）和后端吹扫气环腔模块（6）；

所述隔热腔模块（1）包括吹扫气供应单元，所述吹扫气供应单元用于提供吹扫气体；所述送气管（5）与所述吹扫气供应单元连通；所述吹扫气供应单元通过所述送气管（5）与所述前端吹扫气环腔模块（3）和后端吹扫气环腔模块（6）连通；

所述前端吹扫气环腔模块（3）的吹扫出口与窗口片（203）对应；所述后端吹扫气环腔模块（6）的吹扫出口与平面反射镜（704）对应。

2.根据权利要求1所述的滤网探针，其特征在于，所述双窗口固定模块（2）的一端与所述隔热腔模块（1）连接，另一端与所述前端吹扫气环腔模块（3）的一端连接，所述前端吹扫气环腔模块（3）的另一端通过滤网采样气室（4）与所述后端吹扫气环腔模块（6）连接，所述送气管（5）穿设于所述滤网采样气室（4），所述后端吹扫气环腔模块（6）与所述平面反射镜固定模块（7）连接；所述隔热腔模块（1）远离所述双窗口固定模块（2）的一端与光线发射端、光线接收端连接，所述光线发射端和光线接收端设置于探针的同侧。

3.根据权利要求1或2所述的滤网探针，其特征在于，所述前端吹扫气环腔模块（3）包括贴合连接的第一前端吹扫气片（301）和第二前端吹扫气片（302）；

所述第一前端吹扫气片（301）和第二前端吹扫气片（302）围设成第一吹扫环路（303），所述第一吹扫环路（303）的吹扫出口朝向所述窗口片（203）设置；所述第一吹扫环路（303）通过送气管（5）与所述吹扫气供应单元连通。

4.根据权利要求3所述的滤网探针，其特征在于，所述第一前端吹扫气片（301）为环状结构，所述第一前端吹扫气片（301）的中心通孔包括由一端向另一端渐扩的第一斜面通孔，所述第一斜面通孔靠近所述第二前端吹扫气片（302）的孔径最大；

所述第二前端吹扫气片（302）为环状结构，所述第二前端吹扫气片（302）的中间通孔的边缘具有环状的第一斜面凸台，所述第一斜面凸台与所述第一斜面通孔套设装配连接，并且装配后两者相互靠近的面之间形成所述第一吹扫环路（303）。

5.根据权利要求1或2所述的滤网探针，其特征在于，所述后端吹扫气环腔模块（6）包括贴合连接的第一后端吹扫气片（601）和第二后端吹扫气片（602），所述第一后端吹扫气片（601）和第二后端吹扫气片（602）围设成第二吹扫环路（603），所述第二吹扫环路（603）通过送气管（5）与所述吹扫气供应单元连通，所述第二吹扫环路（603）的吹扫出口朝向所述平面反射镜（704）设置。

6.根据权利要求5所述的滤网探针，其特征在于，所述第一后端吹扫气片（601）为环状结构，所述第一后端吹扫气片（601）的中心通孔边缘具有环状的第二斜面凸台；

所述第二后端吹扫气片（602）为环状结构，所述第二后端吹扫气片（602）的中间通孔包括由一端向另一端渐扩的第二斜面通孔，所述第二斜面通孔靠近所述第一后端吹扫气片（601）的孔径最大；

所述第二斜面凸台与所述第二斜面通孔套设装配连接，并且装配后两者相互靠近的面之间形成所述第二吹扫环路（603）。

7.根据权利要求1所述的滤网探针，其特征在于，所述吹扫气供应单元包括吹扫座体（103），所述吹扫座体（103）内设置有吹扫腔室（1031），所述吹扫腔室（1031）与所述送气管（5）的一端连通；

所述吹扫腔室（1031）与外接的吹扫气路连通，所述吹扫气路用于为所述吹扫腔室（1031）提供吹扫气。

8.根据权利要求1或2所述的滤网探针，其特征在于，所述双窗口固定模块（2）包括倾斜设置的两个所述窗口片（203），所述窗口片（203）连接在双窗口固定基座（201）上。