[发明专利]一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪

权利要求书

1.一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：包括高波段测量系统、样品(5)和低波段测量系统，所述低波段测量系统包括起偏臂一(1)和检偏臂一(2)，所述样品(5)设置在起偏臂一(1)的光路方向上，所述检偏臂一(2)设置在样品(5)的透射光路方向上，所述高波段测量系统包括起偏臂二(3)和检偏臂二(4)，所述样品(5)设置在起偏臂二(3)的光路方向上，所述检偏臂二(4)设置在样品(5)的反射光路方向上。

2.根据权利要求1所述的一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：所述起偏臂一(1)包括光源一(101)、准直系统一(102)、起偏器一(103)、第一伺服电机(104)、第一补偿器(105)，所述光源一(101)的光路方向上依次设置有准直系统一(102)、起偏器一(103)、第一补偿器(105)，所述第一补偿器(105)的光路方向上设置有样品(5)，所述第一补偿器(105)的底部连接有第一伺服电机(104)。

3.根据权利要求2所述的一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：所述检偏臂一(2)包括第二补偿器(201)、第二伺服电机(202)、检偏器一(203)、分束镜(204)、准直系统二(205)、光谱仪一(206)、准直系统三(207)、光谱仪二(208)，所述第二补偿器(201)设置在样品(5)的透射光路方向上，所述第二补偿器(201)的光路方向上依次设置有、检偏器一(203)、分束镜(204)，所述分束镜(204)的透射光路上设置有准直系统二(205)，所述准直系统二(205)的光路方向上设置有光谱仪一(206)，所述束镜(204)的反射光路上设置有准直系统三(207)，所述准直系统三(207)的光路方向上设置有光谱仪二(208)，所述第二补偿器(201)的底部连接有第二伺服电机(202)。

4.根据权利要求3所述的一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：所述起偏臂二(3)包括光源二(301)、准直系统四(302)、起偏器二(303)、第三伺服电机(304)、第三补偿器(305)，所述光源二(301)的光路方向上依次设置有准直系统四(302)、起偏器二(303)、第三补偿器(305)，所述第三补偿器(305)的光路方向上设置有样品(5)，所述第三补偿器(305)的底部连接有第三伺服电机(304)。

5.根据权利要求4所述的一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：所述检偏臂二(4)包括第四补偿器(401)、第四伺服电机(402)、检偏器二(403)、准直系统五(404)、光谱仪三(405)，所述第四补偿器(401)设置在样品(5)的反射光路方向上，所述第四补偿器(401)的光路方向上依次设置有检偏器二(403)、准直系统五(404)、光谱仪三(405)，所述第四补偿器(401)的底部连接有第四伺服电机(402)。

6.根据权利要求1所述的一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：所述检偏臂一(2)与检偏臂二(4)固定在同一块底板上，所述起偏臂一(1)和起偏臂二(3)的入射角范围为15°-90°，所述样品(5)转动角度与检偏臂一(2)的转动角度之比为1:2，所述样品(5)转动角度与检偏臂二(4)的转动角度之比为1:2。

7.根据权利要求4所述的一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪，其特征在于：所述光源一(101)采用DH-200-DUV型光源，所述DH-200-DUV型光源的光谱范围为190-2500nm，所述光源二(301)采用Arclight NIRIR lamps型光源，所述Arclight NIRIR lamps型光源的光谱范围为400-4000nm。