[发明专利]一种测微敏感器周期脉冲误差抑制方法及装置

权利要求书

1.一种测微敏感器周期脉冲误差抑制方法，其特征在于包括：

步骤1：采集测微敏感器每个闭环周期内的阶梯波驱动信号和敏感器输出信号；

步骤2：以步骤1采集得到的每个闭环周期的阶梯波驱动信号为输入，以敏感器输出信号为输出，以IIR滤波器为波形求取传递函数；

步骤3：将步骤2所得IIR滤波器传递函数求逆函数，得到频域补偿滤波器；

步骤4：将阶梯波驱动信号经过频域补偿滤波器处理后驱动Y波导，实现周期脉冲误差的抑制。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤1中测量的频率大于1/T，T为测微敏感器的闭环周期。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤2中用于求取IIR滤波器传递函数的输入数据为对步骤1中采集到的数据进行截取得到的，截取数据段为以阶梯波驱动信号复位处为起点，以敏感器输出信号恢复到与复位前均值相等为终点。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：需要对阶梯波驱动信号及敏感器输出信号根据敏感器闭环检测算法的时延特性进行时序调整，保证采集到的敏感器输出信号对应于同一时刻的阶梯波驱动信号。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：针对不同Y波导，重复步骤1-4，得到相应的频域补偿滤波器，实现周期脉冲误差抑制。

6.一种测微敏感器周期脉冲误差抑制装置，其特征在于：包括测量装置、频域补偿滤波器；

所述测量装置用于测量测微敏感器每个闭环周期内的阶梯波驱动信号和敏感器输出信号；

所述频域补偿滤波器的传递函数为IIR滤波器传递函数的求逆函数，IIR滤波器的传递函数通过以每个闭环周期的阶梯波驱动信号为输入，以敏感器输出信号为输出，以IIR滤波器为波形求取得到；用于将阶梯波驱动信号处理后驱动Y波导，实现周期脉冲误差的抑制。

7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述的测量装置为超高频测量装置，其测量频率大于1/T，T为测微敏感器的闭环周期。

8.一种测微敏感器，包括ASE光源、光电探测器、耦合器、光电调制器、前置放大器、用于闭环检测的FPGA以及波导驱动，其特征在于：还包括权利要求4中所述的频域补偿滤波器，由频域补偿滤波器对闭环检测处理后的阶梯波驱动信号进行处理后驱动Y波导，实现周期脉冲误差的抑制。

9.根据权利要求8所述的测微敏感器，其特征在于：所述的频域补偿滤波器设置在所述的FPGA内，其输入为闭环检测的输出，输出进入波导驱动。

10.根据权利要求8所述的测微敏感器，其特征在于：所述FPGA包含三种工作模式，分别为高速采集模式，用于周期脉冲误差特性提取；频率补偿滤波器参数注入模式，用于将计算得到的频率补偿滤波器传递函数相应参数的注入；含频率补偿滤波器的闭环检测工作模式，在增加频率补偿滤波器后，实现无周期脉冲误差的测微敏感器输出。