[发明专利]一种基于伏安循环法监控深镀能力的方法

权利要求书

1.一种基于伏安循环法监控深镀能力的方法，特征在于，包括：

提供至少一条标准曲线，所述标准曲线反映深镀能力与阴极电流的对应关系，且不同所述参考标准曲线对应不同板厚区间的电镀产品；

根据当前电镀产品的板厚选取对应的标准曲线，作为参考曲线；

提取当前电镀产品的镀液并利用CVS机对所述镀液分析，在分析过程中从所述CVS机获取实际阴极电流，依据所述参考曲线确定实际深镀能力。

2.根据权利要求1所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，所述方法还包括：

判断所述实际深镀能力是否低于预设的目标深镀能力阈值，若是，则对所述镀液的添加剂浓度进行调整，直至所述实际深镀能力不低于所述目标深镀能力阈值；所述添加剂包括光亮剂、整平剂和/或湿润剂。

3.根据权利要求2所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，所述对镀液的添加剂浓度进行调整的方法包括：

根据所述参考曲线以及所述目标深镀能力阈值，确定能够实现实际深镀能力不低于目标深镀能力阈值的阴极电流参考范围；

若所述实际阴极电流低于所述阴极电流参考范围中的最低电流阈值，则补加所述光亮剂、停加所述整平剂或者先补加所述光亮剂再停加所述整平剂；

若所述实际阴极电流高于所述阴极电流参考范围中的最高电流阈值，则停加所述光亮剂、补加所述整平剂或者先停加所述光亮剂再补加所述整平剂。

4.根据权利要求3所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，所述对镀液的添加剂浓度进行调整的方法还包括：

获得能够实现实际阴极电流不超出所述阴极电流参考范围的光亮剂浓度参考范围和整平剂浓度参考范围；

补加/停加所述光亮剂的方式为：补加/停加所述光亮剂直至所述光亮剂浓度参考范围的中值；

补加/停加所述整平剂的方式为：补加/停加所述整平剂直至所述整平剂浓度参考范围的中值。

5.根据权利要求4所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，所述阴极电流参考范围为2.0×10^-3A～3.5×10^-3A，所述光亮剂浓度参考范围为0.7ml/L～1.3ml/L，所述整平剂浓度参考范围为7.5ml/L～9.0ml/L。

6.根据权利要求1所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，还包括：在所述分析过程中，从所述CVS机获取实际阳极极化曲线，根据所述实际阳极极化曲线判断所述镀液是否发生污染。

7.根据权利要求1所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，所述判断所述镀液是否发生污染的方法包括：

提供参考阳极极化曲线，所述参考阳极极化曲线由所述CVS机在所述镀液处于无污染状态时分析获得；

将所述实际阳极极化曲线与所述参考阳极极化曲线对比，根据曲线斜率差异判断所述实际阳极极化曲线是否异常，若异常则判定所述镀液发生污染。

8.根据权利要求1所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，所述标准曲线的绘制方法包括：

结合阴极电流、电导率、产品孔径、产品板厚和/或电位系数与所述深镀能力的关系来绘制所述标准曲线。

9.根据权利要求8所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，根据关系式TP～(KD/IL²)×μ来绘制所述标准曲线；

其中，TP表示深镀能力，K表示电导率(不动)，D表示产品孔径(按照最难的来算)，I表示阴极电流，L表示产品板厚，μ表示电位系数，～表示线性对应关系。

10.根据权利要求2所述的基于伏安循环法监控深镀能力的方法，其特征在于，自动化实现对所述镀液的添加剂浓度的调整。