[发明专利]电子级六氟化硫预处理系统及其控制方法

权利要求书

1.一种电子级六氟化硫预处理系统，用于将六氟化硫发生器产生并经过裂解塔裂解的六氟化硫粗气进行水洗，其特征在于，包括电子级六氟化硫水洗装置(10)，所述电子级六氟化硫水洗装置(10)包括多级串联的水洗塔(11)；

每一水洗塔(11)包括设置于底部的第一容置腔(118)以及顶部的第一喷淋单元(119)；每一水洗塔(11)还包括设置于所述第一喷淋单元(119)底部的第一进气口(111)，设置于所述第一喷淋单元(119)顶部的第一出气口(112)、设置于所述第一容置腔(118)顶部的第一补液口(113)，设置于所述第一容置腔(118)底部的第一出液口(114)、设置于所述第一出液口(114)上的第一抽液泵(116)、设置于所述第一喷淋单元(119)顶部且与所述第一抽液泵(116)联通的喷淋口(115)、以及用于检测所述喷淋口(115)液体浓度的检测单元(117)；其中，一级水洗塔(11)的第一抽液泵(116)进一步连接外部管路(p)；后一级水洗塔(11)的第一抽液泵(116)进一步连接前一级水洗塔(11)的第一补液口(113)；最后一级水洗塔(11)的第一补液口(113)进一步连接外部输入管路(O)，从而向最后一级水洗塔(11)输入纯净水；其中，所述第一喷淋单元(119)内部进一步设置多个缓流管道(1190)，每一缓流管道沿其高度方向进一步设置多个缓流腔(1191)，所述缓流腔(1191)交错设置，形成流动通道，所述缓流腔(1191)为耳蜗状缓流结构，且沿竖直方向排列成两排，其中一排的耳蜗状缓流结构顶部正对另一排耳蜗状缓流结构的中部；底部的气流沿所述耳蜗状缓流结构上升达到顶部后形成向下的阻挡气流，进而形成缓流。

2.如权利要求1所述的电子级六氟化硫预处理系统，其特征在于，所述电子级六氟化硫水洗装置(10)包括6级串联的水洗塔(11)。

3.一种如权利要求1所述的电子级六氟化硫预处理系统的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

S10，控制各级水洗塔(11)进行自动喷淋，喷淋过程中检测一级水洗塔(11)中溶液的酸度，当酸度达到设定值时进入步骤S11，否则重复获取酸度；

S11，通过一级水洗塔(11)中的第一抽液泵(116)及外部输出管路(p)将一级水洗塔(11)中的溶液向外部输出；外部输出结束后通过后一级的第一抽液泵(116)将该级第一容置腔(118)中的溶液往上一级的第一容置腔(118)泵送浓缩；最后通过所述外部输入管路(O)向最后一级的第一容置腔(118)补充纯净水。

4.如权利要求3所述的电子级六氟化硫预处理系统的控制方法，其特征在于，在所述通过一级水洗塔(11)中的第一抽液泵(116)及外部输出管路(p)将一级水洗塔(11)中的溶液向外部输出的过程中，保持所述六氟化硫粗气始终保持在进气状态。

5.如权利要求3所述的电子级六氟化硫预处理系统的控制方法，其特征在于，在所述外部输出结束后通过后一级的第一抽液泵(116)将该级第一容置腔(118)中的溶液往上一级的第一容置腔(118)泵送浓缩的过程中，保持所述六氟化硫粗气始终保持在进气状态。

6.如权利要求3所述的电子级六氟化硫预处理系统的控制方法，其特征在于，在步骤S11中，当水洗塔(11)中的第一容置腔(118)中溶液高度略高于所述第一抽液泵(116)进水口时结束向外部输出。