[发明专利]电子级六氟化硫预处理系统及其控制方法

说明书

本发明提供了电子级六氟化硫预处理系统及其控制。所述系统包括多级串联的水洗塔。每一水洗塔包括设置于底部的第一容置腔以及顶部的第一喷淋单元；每一水洗塔还包括设置于第一喷淋单元底部的第一进气口，设置于第一喷淋单元顶部的第一出气口、设置于第一容置腔顶部的第一补液口，设置于第一容置腔底部的第一出液口、设置于第一出液口上的第一抽液泵、设置于第一喷淋单元顶部且与第一抽液泵联通的喷淋口、以及用于检测喷淋口液体浓度的检测单元；一级水洗塔的第一抽液泵进一步连接外部管路；后一级水洗塔的第一抽液泵进一步连接前一级水洗塔的第一补液口；最后一级水洗塔的第一补液口进一步连接外部输入管路，从而向最后一级水洗塔输入纯净水。

技术领域

本发明涉及一种电子级六氟化硫预处理系统及其控制方法。

背景技术

目前，六氟化硫是新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂(操作温度－45～0℃之间)。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放射化学。

在工业化生产过程一般将氟气和硫蒸气反应制备六氟化硫。制备的六氟化硫粗气一般需要经过高温裂解、水洗、碱洗、低压吸附、高压吸附以及精馏等步骤，才能获得电子级的六氟化硫气体。在六氟化硫水洗过程中，一般在水洗塔中通过泵将纯净水从塔顶喷淋与六氟化硫粗气接触，从而除去F₂、HF等气体。然而，在实际运行过程中由于一级水洗塔的浓度总是高于其他水洗塔，导致需要经常停机更换一级水洗塔中的水，不利于六氟化硫正常生产运行。

发明内容

本发明提供了一种电子级六氟化硫预处理系统及其控制方法，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

本发明提供一种电子级六氟化硫预处理系统，用于将六氟化硫发生器产生并经过裂解塔裂解的六氟化硫粗气进行水洗。其包括电子级六氟化硫水洗装置，所述电子级六氟化硫水洗装置包括多级串联的水洗塔。

每一水洗塔包括设置于底部的第一容置腔以及顶部的第一喷淋单元；每一水洗塔还包括设置于所述第一喷淋单元底部的第一进气口，设置于所述第一喷淋单元顶部的第一出气口、设置于所述第一容置腔顶部的第一补液口，设置于所述第一容置腔底部的第一出液口、设置于所述第一出液口上的第一抽液泵、设置于所述第一喷淋单元顶部且与所述第一抽液泵联通的喷淋口、以及用于检测所述喷淋口液体浓度的检测单元；其中，一级水洗塔的第一抽液泵进一步连接外部管路；后一级水洗塔的第一抽液泵进一步连接前一级水洗塔的第一补液口；最后一级水洗塔的第一补液口进一步连接外部输入管路，从而向最后一级水洗塔输入纯净水。

本发明还进一步提供一种上述的电子级六氟化硫预处理系统的控制方法，包括以下步骤：

S10，控制各级水洗塔进行自动喷淋，喷淋过程中检测一级水洗塔中溶液的酸度，当酸度达到设定值时进入步骤S11，否则重复获取酸度；

S11，通过一级水洗塔中的第一抽液泵及外部输出管路将一级水洗塔中的溶液向外部输出；外部输出结束后通过后一级的第一抽液泵将该级第一容置腔中的溶液往上一级的第一容置腔泵送浓缩；最后通过所述外部输入管路向最后一级的第一容置腔补充纯净水。

作为进一步改进的，在所述通过一级水洗塔中的第一抽液泵及外部输出管路将一级水洗塔中的溶液向外部输出的过程中，保持所述六氟化硫粗气始终保持在进气状态。