[发明专利]图案形成方法及固化性组合物的制造方法

权利要求书

1.图案形成方法，其包括下述工序：

使用含有金属氧化物纳米粒子的固化性组合物，在基板上形成固化性膜的工序；

将具有线与间隔图案的模具按压于所述固化性膜，从而在所述固化性膜上转印所述线与间隔图案的工序；

在将所述模具按压于所述固化性膜的同时，使转印有所述线与间隔图案的固化性膜进行固化，从而形成固化膜的工序；以及

将所述模具从所述固化膜剥离，从而在所述基板上形成线与间隔图案的工序，

形成于所述基板上的所述线与间隔图案的基部的线宽度x、与所述金属氧化物纳米粒子的体积平均一次粒径φ满足：

0.03xφ0.08x，

x≤500nm。

2.如权利要求1所述的图案形成方法，其中，所述固化性组合物还含有聚合性化合物、和聚合引发剂。

3.如权利要求2所述的图案形成方法，其中，所述聚合引发剂为光聚合引发剂。

4.如权利要求1所述的图案形成方法，其中，所述固化性组合物为光固化性组合物。

5.如权利要求1～3中任一项所述的图案形成方法，其中，形成于所述基板上的所述线与间隔图案的线的高度y、与所述线宽度x满足：

y≥x。

6.如权利要求1～3中任一项所述的图案形成方法，其中，所述线与间隔图案为矩形图案或倾斜图案。

7.固化性组合物的制造方法，其为用于在基板上形成线与间隔图案的固化性组合物的制造方法，其包括下述工序：

选择体积平均一次粒径φ相对于所述线与间隔图案的基部的线宽度x而言满足0.03xφ0.08x的金属氧化物纳米粒子的工序；以及

制备包含所述金属氧化物纳米粒子的固化性组合物的工序，

所述制造方法中，x≤500nm。

8.如权利要求7所述的固化性组合物的制造方法，其中，制备所述固化性组合物的工序包括：使所述金属氧化物纳米粒子、聚合性化合物、和聚合引发剂溶解或分散于溶剂中，进行混合。

9.如权利要求8所述的固化性组合物的制造方法，其中，所述聚合引发剂为光聚合引发剂。

10.如权利要求7～9中任一项所述的固化性组合物的制造方法，其中，所述固化性组合物为光固化性组合物。

11.如权利要求7～9中任一项所述的固化性组合物的制造方法，其中，所述线与间隔图案的线的高度y、与所述线宽度x满足：

y≥x。