[发明专利]LIDAR传感器系统、用于该系统的光学部件、传感器和方法

权利要求书

1.一种用于LIDAR传感器系统的光学部件(5100)，所述光学部件(5100)包括：

第一光电二极管(5110)，其在第一半导体结构中实现LIDAR传感器像素，并且被配置成吸收在第一波长区域中的接收光；

第二光电二极管(5120)，其在所述第一半导体结构上方的第二半导体结构中实现相机传感器像素，并且被配置成吸收在第二波长区域中的接收光；

互连层(5114)，其包括被配置成电接触所述第二光电二极管(5120)的导电结构；

其中，所述第二波长区域的接收光具有比所述第一波长区域的接收光更短的波长。

2.根据权利要求1所述的光学部件(5100)，

其中，所述第二光电二极管(5120)垂直堆叠在所述第一光电二极管(5110)上方。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的光学部件(5100)，

其中，所述第一光电二极管(5110)是第一垂直光电二极管；以及/或者

其中，所述第二光电二极管(5120)是第二垂直光电二极管。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学部件(5100)，还包括：

另外的互连层(5106)，所述另外的互连层(5106)包括被配置成电接触所述第二垂直光电二极管和/或所述第一垂直光电二极管的导电结构。

5.根据权利要求1或4中任一项所述的光学部件(5100)，还包括：

在所述第二半导体结构上方的微透镜(5202)，所述微透镜(5202)横向上基本上覆盖所述第一垂直光电二极管(5110)和/或所述第二垂直光电二极管(5120)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学部件(5100)，还包括：

在所述第二半导体结构上方的滤波器层(5206)，所述滤波器层(5206)横向上基本上覆盖所述第一垂直光电二极管(5110)和/或所述第二垂直光电二极管(5120)，并且被配置成透射具有在所述第一波长区域内和在所述第二波长区域内的波长的接收光，并且阻挡在所述第一波长区域之外和在所述第二波长区域之外的光。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的光学部件(5100)，

其中，所述第一波长区域的接收光具有在约800nm至约1800nm的范围内的波长；以及/或者

其中，所述第二波长区域的接收光具有在约380nm至约780nm的范围内的波长。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的光学部件(5100)，

其中，所述第一波长区域的接收光具有在约800nm至约1800nm的范围内的波长；以及/或者

其中，所述第二波长区域的接收光具有在约800nm至约1750nm的范围内的波长。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的光学部件(5100)，

其中，所述第二波长区域的接收光具有比所述第一波长区域的接收光短至少50nm，优选地短至少100nm的波长。

10.根据权利要求1至7或9中任一项所述的光学部件(5100)，

其中，所述第一波长区域的接收光具有在红外光谱波长区域中的波长；以及/或者

其中，所述第二波长区域的接收光具有在可见光谱波长区域中的波长。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的光学部件(5100)，还包括：

镜结构(5302；5304)，包括底镜(5302)和顶镜(5304)；

其中，所述第二半导体结构布置在所述底镜(5302)与所述顶镜(5304)之间；

其中，所述底镜(5302)布置在所述互连层(5114)与所述第二半导体结构之间。

12.根据权利要求11所述的光学部件(5100)，

其中，所述镜结构(5302；5304)包括布拉格镜结构。