[发明专利]一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述的叠层太阳能电池包括底层电池(1)、顶层电池(2)、设置于所述底层电池(1)与所述顶层电池(2)之间的连接层(3)以及依次设置于所述顶层电池(2)上的过渡层(5)、窗口层(6)和顶层电极(7)；所述的顶层电池(2)为铜锌锡硫电池；所述的连接层(3)为超薄氧化硅层(1-6)与MoSxOy层(4)形成的隧穿层。

2.根据权利要求1所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述的底层电池(1)包括由下而上依次设置的底层电极(1-1)、第一钝化层(1-2)、第二钝化层(1-3)、P型硅片(1-4)、磷硅玻璃层(1-5)和所述超薄氧化硅层(1-6)；所述的底层电极(1-1)贯穿所述第一钝化层(1-2)和第二钝化层(1-3)并与所述P型硅片(1-4)接触。

3.根据权利要求2所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述的第一钝化层(1-2)为SiNx层，且所述第一钝化层(1-2)的厚度为65-120nm。

4.根据权利要求2所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述的第二钝化层(1-3)为AlOx层，且所述第二钝化层(1-3)的厚度为5-10nm。

5.根据权利要求2所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述P型硅片(1-4)的厚度为120-250μm、电阻率为0.4-1.5Ω/cm。

6.根据权利要求2所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述超薄氧化硅层(1-6)的厚度为1-3nm。

7.根据权利要求1所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述MoSxOy层(4)的厚度为2-6nm。

8.根据权利要求1所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述的过渡层(5)为硫化镉层，且所述过渡层(5)的厚度为10-100nm。

9.根据权利要求1所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池，其特征在于，所述的窗口层(6)为氧化锌层，且所述窗口层(6)的厚度为60-200nm。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种PERC-铜锌锡硫叠层太阳能电池的制备方法，其特征在于，该方法依次包括如下步骤：

S1、对P型硅片(1-4)进行清洗，制绒；

S2、对制绒后的所述P型硅片(1-4)进行正面扩散，形成磷硅玻璃层(1-5)，然后再进行背面碱抛；

S3、正面氧化，在所述磷硅玻璃层(1-5)上形成所述超薄氧化硅层(1-6)；

S4、背面依次沉积第二钝化层(1-3)和第一钝化层(1-2)；

S5、激光开孔，丝网印刷，烧结，制备底层电极(1-1)；

S6、采用磁控溅射工艺，在所述超薄氧化硅层(1-6)沉积所述MoSxOy层(4)，形成隧穿结构的所述连接层(3)；

S7、采用磁控溅射工艺，在所述连接层(3)上沉积铜锌锡硫，得到所述顶层电池(2)，且所述顶层电池(2)的厚度为1-3μm、带隙为1.4-1.7eV；

S8、采用磁控溅射工艺，依次在所述顶层电池(2)上沉积所述过渡层(5)和所述窗口层(6)；

S9、最后，在所述窗口层(6)上丝网印刷电极浆料，升温烧结，得到该叠层太阳能电池；其中：升温烧结是在1-5分钟内由常温升温至900℃进行烧结。