[发明专利]一种光栅位移测量装置

权利要求书

1.一种光栅位移测量装置，包括光栅尺(1)和读数头(2)，所述光栅尺(1)和所述读数头(2)之间能够发生相对运动；其特征在于：所述读数头(2)包括外壳(21)，所述外壳(21)的中部设置有柱透镜(22)，所述柱透镜(22)的后侧设置有光电二极管(23)，在所述光电二极管(23)的周围设置有两个以上的光源(24)。

2.根据权利要求1所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光源(24)发射的光为蓝光。

3.根据权利要求1所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光栅尺(1)为条形。

4.根据权利要求3所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光栅尺(1)由多个直线光栅(11)依次拼接而成，相邻两个直线光栅(11)之间的拼接间隙(12)小于相邻两个光源(24)之间的间距。

5.根据权利要求1所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光栅尺(1)为圆盘形或者圆环形。

6.根据权利要求5所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：每个所述光源(24)与所述光栅尺(1)的圆心之间的距离相等。

7.根据权利要求1所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光源(24)的数量为两个，两个所述光源(24)的相位差为零。

8.根据权利要求1所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光源(24)的数量为两个，两个所述光源(24)的相位差为180°。

9.根据权利要求1所述的一种光栅位移测量装置，其特征在于：所述光源(24)的数量为四个，四个所述光源(24)分为两组，每组两个光源(24)，同一组的两个所述光源(24)的相位差为零，不同组的所述光源(24)之间的相位差为180°。