[发明专利]一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法

权利要求书

1.一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：将蚀刻液预混原料和添加剂输送入加热器（7），温度控制在30-45℃，往复循环1-3h；

步骤2：将步骤1中的物质进行程序升温，程序升温包括两个阶段，第一阶段由30-45℃升温至45-60℃，第二阶段由45-60℃升温至65-75℃；

步骤3：将步骤2中的物质输送入快速换热器（8）降温处理；

步骤4：将步骤3中的物质输送入双氧水混合罐（3），并加入双氧水，混合均匀，得到产成品；

步骤2中第一阶段由30-45℃升温至45-60℃后，恒温7-13小时，第二阶段由45-60℃升温至65-75℃后，恒温7-13小时；

步骤2中由30-45℃升温至45-60℃，升温1-3h；

步骤2中由45-60℃升温至65-75℃，升温1h；

步骤1中蚀刻液预混原料由以下步骤制得：

1.1、将酸加入预处理的酸混合罐（4）中，搅拌转速为100-200r/min，搅拌30min以上，第一超声器（5）超声20-50s；

1.2、将碱加入碱混合罐（2）中，搅拌30min以上；

1.3、将金属无机盐加入步骤1.2中，搅拌30min以上；

1.4、将步骤1.1和1.3中的物质加入预处理的酸碱混合釜（6）中，搅拌转速80-150r/min，且搅拌4小时以上并回流，得蚀刻液预混原料。

2.根据权利要求1所述的一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法，其特征在于：步骤3中温度由65-75℃降至20℃-30℃，停留时间60-240s。

3.根据权利要求1所述的一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法，其特征在于：步骤1.1中酸混合罐（4）内以超纯水进行预处理，步骤1.4中酸碱混合釜（6）内以惰性气体进行预处理。

4.根据权利要求1所述的一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法，其特征在于：将步骤4中物质通过第二超声器（9）超声40-90s和孔径为0.4-0.9μm的过滤系统（1）过滤。