[发明专利]一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法有效

专利信息
申请号: 202210502822.4 申请日: 2022-05-10
公开(公告)号: CN114870740B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 邵振;陈杰 申请(专利权)人: 江苏和达电子科技有限公司
主分类号: B01F35/80 分类号: B01F35/80;B01F33/80;B01F33/82;B01F35/22;B01F35/221;C23F1/16;C23F1/18
代理公司: 上海新泊利知识产权代理事务所(普通合伙) 31435 代理人: 朱晓敏
地址: 212212 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 显示 金属 离子 酸性 蚀刻 生产 系统 方法
【说明书】:

发明提供一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法,包括通过PLC控制进行程序升温的加热器,所述加热器对蚀刻液预混原料和添加剂进行程序升温,其中蚀刻液预混原料包括酸、碱、金属无机盐,快速换热器,所述快速换热器连接所述加热器,用以对加热器程序升温后的蚀刻液预混原料快速换热,双氧水混合罐,所述双氧水混合罐连接所述快速换热器,用以对快速换热器快速换热后的蚀刻液预混原料和双氧水混合,采用程序升温制得的显示制程金属离子酸性蚀刻液相对于未使用程序升温的显示制程金属离子酸性蚀刻液蚀刻效果和侧蚀效果更稳定。

技术领域

本发明属于蚀刻液的技术领域,具体涉及一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法。

背景技术

蚀刻液,是一种铜版画雕刻用原料。通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸、硫酸/双氧水蚀刻液。

由于现有技术的工艺条件不够成熟,使得制备的蚀刻液物质成分不稳定,导致蚀刻液中的组分配比不断发生变化,从而需要对蚀刻液的比重、游离氢离子浓度等多项参数不断进行检测,实时控制各组分的投放量,才能保证生产的蚀刻液能够保持稳定的蚀刻速率,在控制各组分投放量时,操作难度大,在蚀刻液生产时,如何控制蚀刻液生产的工艺条件,避免制得的蚀刻液中的组分配比发生变化,从而保持稳定的蚀刻速率和侧蚀速率是本发明亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法,以解决上述背景技术中提出的通过控制蚀刻液生产的工艺条件,来保持稳定的蚀刻速率和侧蚀速率的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统,其特征在于:该用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统包括:

-通过PLC控制进行程序升温的加热器,所述加热器对蚀刻液预混原料和添加剂进行程序升温,其中蚀刻液预混原料包括酸、碱、金属无机盐,其中,本发明中所说的添加剂是不包括酸、碱、金属无机盐和双氧水的其他物质,添加剂可以是多种物质的组合;

-快速换热器,所述快速换热器连接所述加热器,用以对加热器程序升温后的蚀刻液预混原料快速换热;

-双氧水混合罐,所述双氧水混合罐连接所述快速换热器,用以对快速换热器快速换热后的蚀刻液预混原料和双氧水混合。

作为进一步的改进,还包括:

-与加热器连接的酸碱混合釜,以及分别与酸碱混合釜连接的酸混合罐和碱混合罐,

其中,所述酸混合罐用以对酸进行混合,所述碱混合罐用以对碱进行混合,所述酸碱混合釜用以对酸混合罐中酸和碱混合罐中碱进行混合;

-与双氧水混合罐连接的第二超声器,以及与第二超声器连接的过滤系统,其中第二超声器和过滤系统用以双氧水混合罐中的物质进行超声、过滤;

-设于酸混合罐和酸碱混合釜之间的第一超声器,所述第一超声器用以对酸混合罐中酸超声。

一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤1:将蚀刻液预混原料和添加剂输送入加热器,温度控制在30-45℃,往复循环1-3h(例如每1h、2h、3h等);

步骤2:将步骤1中的物质进行程序升温,程序升温包括两个阶段,第一阶段由30-45℃升温至45-60℃,第二阶段由45-60℃升温至65-75℃;

步骤3:将步骤2中的物质输送入快速换热器降温处理;

步骤4:将步骤3中的物质输送入双氧水混合罐,并加入双氧水,混合均匀,得到产成品。

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