[发明专利]一种溅射环定位件加工夹具及利用其的加工方法

说明书

本发明提供了一种溅射环定位件加工夹具及利用其的加工方法，所述溅射环定位件加工夹具包括固定夹具和更换夹具；所述固定夹具固定在加工中心工作台上，所述更换夹具可拆卸地连接在所述固定夹具上；在所述更换夹具远离所述固定夹具的一面上开设装载孔；在所述更换夹具的侧面开设与所述装载孔相连通的侧孔定位孔。本发明中固定夹具和更换夹具是可拆卸地连接方式，通过多个更换夹具之间的配合，能够实现待加工溅射环定位件的快速更换；所述溅射环定位件加工夹具中装载孔和侧孔定位孔的设置使其在一次装夹之后即可实现螺纹加工、铣方和钻侧孔，确保加工精度的同时，提高了加工效率。

技术领域

本发明属于半导体器件加工技术领域，涉及溅射环定位件加工技术领域，尤其涉及一种溅射环定位件加工夹具及利用其的加工方法。

背景技术

随着半导体技术的快速发展，作为半导体产品重要制备方法的溅射镀膜法也得以不断发展，通常情况下，溅射镀膜过程中，溅射粒子从靶材表面溅射出来，沿多个不同方向离开靶材表面，使得到达基板上的靶材较少，为减少靶材的浪费，通常使用溅射环对溅射粒子进行汇聚，溅射环在溅射过程中会产生磁场，对溅射出的靶材原子运动进行约束，并且吸附溅射过程中产生的颗粒物，防止颗粒物落在产品上，造成产品报废，即溅射环通常作为靶材溅射的配套组件来使用。

在磁控溅射设备中，溅射腔室的上部区域设置靶材，下部区域设置设置基板，所述基板设置于基座上，而溅射环则位于两者之间的位置，其中溅射环包括溅射环本体和定位销，所述定位销位于溅射环本体的外环侧壁上，该溅射环本体通过定位销固定在磁控溅射腔室的侧壁上。

然而，加工溅射环定位件包括螺纹加工、铣方和钻侧孔三步，现有技术中需要多次装夹才能加工完成产品，而且需要多个夹具才能完成，且位置度精度较低，装夹一致性较差，一次只能加工一枚溅射环定位件，加工效率低。

综上所述，亟需一种新的加工方法，在确保加工精度的同时，既能在一次装夹后实现铣方和钻侧孔，又能提高加工效率。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种溅射环定位件加工夹具及利用其的加工方法，所述溅射环定位件加工夹具包括固定夹具和更换夹具；所述固定夹具固定在加工中心工作台上，所述更换夹具可拆卸地连接在所述固定夹具上；在所述更换夹具远离所述固定夹具的一面上开设装载孔；在所述更换夹具的侧面开设与所述装载孔相连通的侧孔定位孔。本发明中固定夹具和更换夹具是可拆卸的连接方式，通过多个更换夹具之间的配合，能够实现待加工溅射环定位件的快速更换；所述溅射环定位件加工夹具中装载孔和侧孔定位孔的设置使其在一次装夹之后即可实现螺纹加工、铣方和钻侧孔，确保加工精度的同时，提高了加工效率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的目的之一在于提供一种溅射环定位件加工夹具，所述溅射环定位件加工夹具包括固定夹具和更换夹具；所述固定夹具固定在加工中心工作台上，所述更换夹具可拆卸地连接在所述固定夹具上；在所述更换夹具远离所述固定夹具的一面上开设装载孔；在所述更换夹具的侧面开设与所述装载孔相连通的侧孔定位孔。

本发明中，固定夹具和更换夹具可拆卸地连接在一起，通过多个更换夹具之间的配合，能够实现待加工溅射环定位件的快速更换；所述溅射环定位件加工夹具中装载孔和侧孔定位孔的设置使其在一次装夹之后即可实现铣方和钻侧孔，确保加工精度的同时，提高了加工效率。

作为本发明优选的技术方案，所述固定夹具包括第一基准台和气动拉紧件，所述第一基准台固定在所述加工中心工作台上，所述气动拉紧件固定在所述第一基准台远离所述加工中心工作台的一面上。

值得说明的是，在第一基准台内部开设有气道，使气动拉紧件能够正常运作。

优选地，所述气动拉紧件与所述第一基准台通过螺栓进行固定。