[发明专利]阀在审
| 申请号： | 202210524117.4 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN115095684A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 郑光伟;刘勇村;李志聪;倪其聪 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16K37/00;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阀 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于一蒸汽输送系统中的阀，其中该蒸汽输送系统与用于在一半导体基板上沉积一薄膜的一半导体处理工具相关联，该阀包括：
一阀壳；
一流体入口，配置以接收一处理流体；
一流体出口，配置以提供该处理流体；
一隔膜，配置以在两种配置之间变形，包括：
一关闭配置，其中该隔膜阻塞该处理流体从该流体入口流到该流体出口；以及
一打开配置，其中该隔膜允许该处理流体从该流体入口流到该流体出口；以及
一感应器，包括在该阀壳中，配置以：
产生与该隔膜的变形相关联的一感应器数据；以及
将该感应器数据提供给该蒸汽输送系统的一控制器，以使该控制器能够确定该隔膜的一位置，并且确定通过该阀的该处理流体的一流量，
其中该隔膜的该位置及通过该阀的该处理流体的该流量将用于检测该隔膜的一故障。
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