[发明专利]一种喷嘴监视检测系统有效
申请号: | 202210525389.6 | 申请日: | 2022-05-16 |
公开(公告)号: | CN114624017B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 刘长伟;耿克涛;姜岩松 | 申请(专利权)人: | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
主分类号: | G01M13/00 | 分类号: | G01M13/00;G01B11/06;B05B15/55 |
代理公司: | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人: | 李美宝 |
地址: | 315400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 喷嘴 监视 检测 系统 | ||
1.一种喷嘴监视检测系统,其特征在于,包括:
喷嘴固定件,包括多个喷嘴固定孔,多个所述喷嘴固定孔沿第一方向布设;
图像获取装置,所述图像获取装置朝向所述喷嘴固定件,所述图像获取装置的朝向与所述第一方向垂直;
背光源,所述背光源设于所述喷嘴固定件远离所述图像获取装置的一侧;
保湿盒,所述保湿盒包括多个喷嘴清洗孔、至少一个喷嘴观察孔和观察视窗,所述喷嘴清洗孔和所述喷嘴观察孔沿第一方向布设,所述观察视窗开设于所述喷嘴观察孔朝向所述图像获取装置的一侧;
所述喷嘴监视检测系统还包括:
导管冷却组件,所述导管冷却组件包括冷却腔和多个导管安装孔,所述冷却腔与所述导管安装孔连通;其中,导管穿过所述冷却腔和所述导管安装孔至所述喷嘴固定孔;
支撑板,所述喷嘴固定件和/或所述导管冷却组件连接所述支撑板;
第一安装件,所述第一安装件连接所述支撑板,所述图像获取装置连接所述第一安装件。
2.根据权利要求1所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述喷嘴固定件还包括:
第一导管容纳腔,所述第一导管容纳腔连通所有所述喷嘴固定孔和所述导管安装孔;
其中,所述导管冷却组件连接所述喷嘴固定件。
3.根据权利要求2所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述导管冷却组件还包括:
冷却壳体,所述冷却腔开设于所述冷却壳体内,所述冷却腔一侧设有开口;
密封板,所述密封板连接所述冷却壳体,所述密封板密封于所述开口,所述导管安装孔开设于所述密封板,并且所有所述导管安装孔连通所述开口。
4.根据权利要求3所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述导管冷却组件还包括:
第一密封件,所述第一密封件设于所述导管安装孔内;
和/或第二密封件,所述第二密封件设于所述密封板和所述冷却壳体之间,所述第二密封件环绕所述开口。
5.根据权利要求3所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述冷却壳体还包括:
冷媒输入管道和冷媒输出管道,所述冷媒输入管道和所述冷媒输出管道连通所述冷却腔,所述冷媒输入管道和所述冷媒输出管道内设有第二导管容纳腔。
6.根据权利要求3所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述导管冷却组件还包括:
压紧板,所述压紧板位于所述第一导管容纳腔,所述压紧板位于所述密封板远离所述冷却壳体的一侧,所述压紧板通过紧固件连接所述密封板和所述冷却壳体。
7.根据权利要求1-6任一项所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述喷嘴监视检测系统还包括:
运动机构,所述运动机构连接所述支撑板,所述运动机构至少能够沿所述第一方向直线运动。
8.根据权利要求1所述的喷嘴监视检测系统,其特征在于,所述喷嘴监视检测系统还包括:
第二安装件,所述第二安装件连接所述喷嘴固定件,所述背光源连接所述第二安装件。
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