[发明专利]一种喷嘴监视检测系统

说明书

本发明公开了一种喷嘴监视检测系统，包括：喷嘴固定件，包括多个喷嘴固定孔，所述多个喷嘴固定孔沿第一方向布设；图像获取装置，所述图像获取装置朝向所述喷嘴固定件，所述图像获取装置的朝向与所述第一方向垂直；背光源，所述背光源设于所述喷嘴固定件远离所述图像获取装置的一侧；保湿盒，所述保湿盒包括多个喷嘴清洗孔、至少一个喷嘴观察孔和观察视窗，所述喷嘴清洗孔和所述喷嘴观察孔沿第一方向布设，所述观察视窗开设于所述喷嘴观察孔朝向所述图像获取装置的一侧。本发明解决了保湿盒内喷嘴的胶液回吸状态不便于监测的问题。

技术领域

本发明涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种喷嘴监视检测系统。

背景技术

在光刻胶显影工艺中，光刻胶涂布至基板后进行曝光显影，形成线路。光刻胶涂布时必须保证光刻胶厚度均匀，采用合适的光刻胶，通过匀胶机在一定温度和晃动幅度下进行匀胶，以光刻胶厚度的均匀性；同时，喷嘴的吸胶的性能也是影响光刻胶涂布效果的重要因素。

目前，为防止喷嘴内的光刻胶凝固，可以将喷嘴放置在保湿盒内。但喷嘴侧面伸入保湿盒内，无法观察喷嘴的吸胶量，导致不便于测试喷嘴的吸胶性能。

发明内容

因此，本发明提供一种喷嘴监视检测系统，有效解决保湿盒内喷嘴的胶液回吸状态不便于监测的问题。

本发明提供一种喷嘴监视检测系统，包括：喷嘴固定件，包括多个喷嘴固定孔，多个所述喷嘴固定孔沿第一方向布设；图像获取装置，所述图像获取装置朝向所述喷嘴固定件，所述图像获取装置的朝向与所述第一方向垂直；背光源，所述背光源设于所述喷嘴固定件远离所述图像获取装置的一侧；保湿盒，所述保湿盒包括多个喷嘴清洗孔、至少一个喷嘴观察孔和观察视窗，所述喷嘴清洗孔和所述喷嘴观察孔沿第一方向布设，所述观察视窗开设于所述喷嘴观察孔朝向所述图像获取装置的一侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述喷嘴固定件将喷嘴放置在所述喷嘴清洗孔内时，喷嘴处于保湿状态；此时向所述喷嘴清洗孔内通入清洗液，即可清洗喷嘴；当喷嘴完成清洗后，所述喷嘴固定件将喷嘴放置在所述喷嘴观察孔内，喷嘴仍处于保湿状态，此时喷嘴吸取光刻胶不会造成光刻胶凝固，因此便于监测喷嘴吸胶的状态；图像获取装置朝向观察视窗，能够获取喷嘴观察孔内喷嘴侧面的图像，通过图像算法判断喷嘴是否清洗干净，若清洗干净则控制喷嘴吸取光刻胶，所述图像获取装置再次获取喷嘴的图像，得到喷嘴的胶液回吸高度，从而判断喷嘴的回吸状态是否正常；多个喷嘴固定孔对应多个喷嘴，多个喷嘴依次在保湿盒内进行清洗和测试，从而提高喷嘴测试效率，并且喷嘴全程出于保湿状态，提高测试的准确性。

进一步的，所述喷嘴监视检测系统还包括：导管冷却组件，所述导管冷却组件包括冷却腔和多个导管安装孔，所述冷却腔与所述导管安装孔连通；其中，导管穿过所述冷却腔和所述导管安装孔至所述喷嘴固定孔。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述导管穿过所述导管安装孔时，一部分导管位于所述冷却腔内，所述冷却腔用于容纳冷媒从而冷却导管内的光刻胶，光刻胶经过冷却后，沿着导管穿过导管安装孔通入喷嘴，起到保护喷嘴的作用，同时避免测试过程中光刻胶热胀冷缩影响测试结果。

进一步的，所述喷嘴固定件还包括：第一导管容纳腔，所述第一导管容纳腔连通所有所述喷嘴固定孔和所述导管安装孔；其中，所述导管冷却组件连接所述喷嘴固定件。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一导管容纳腔用于分离冷却腔和喷嘴固定孔，避免冷媒渗出至喷嘴固定孔影响喷嘴；所述导管冷却组件和所述喷嘴固定件可以先相互装配后再安装至其他装置上，拆卸时也便于一同拆卸，避免所述导管冷却组件和所述喷嘴固定件分别安装或分别拆卸时导管与所述导管安装孔松动，进一步避免冷媒渗出至喷嘴固定孔影响喷嘴。

进一步的，所述导管冷却组件还包括：冷却壳体，所述冷却腔开设于所述冷却壳体内，所述冷却腔一侧设有开口；密封板，所述密封板连接所述冷却壳体，所述密封板密封于所述开口，所述导管安装孔开设于所述密封板，并且所有所述导管安装孔连通所述开口。