[发明专利]晶圆盒

权利要求书

1.一种晶圆盒，其特征在于：包括盒体、门板及门板启闭机构，所述盒体的一侧设有开口，所述门板能在所述门板启闭机构的驱动下关闭或打开所述开口；

所述盒体包括位于其侧面的环形侧板，所述环形侧板由侧板本体、过渡板及开口板围绕而成，其中，所述过渡板设置有两块，分别用以将所述侧板本体的两端与所述开口板的两端连接起来；所述侧板本体外侧壁横截面所在的圆与所述开口板外侧壁横截面所在的圆呈偏心设置，且所述侧板本体的外侧壁横截面所在的圆位于所述开口板的外侧壁横截面所在的圆的内部；所述门板包括能沿环形侧板移动的门板本体，所述门板本体的内侧壁与所述开口板的外侧壁形状匹配；且所述门板本体内侧壁的运动轨迹与所述开口板外侧壁所在的圆是偏心的。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，当开口处于关闭状态时，一个所述过渡板抵接在所述门板本体内侧壁上，另一个所述过渡板挤压在所述门板本体内侧壁上；且所述门板本体的内侧壁横截面所在的圆与所述开口板外侧壁横截面所在的圆呈同心设置，所述门板本体以所述侧板本体外侧壁所在的轴心线为旋转轴心线。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，当开口处于关闭状态时，一个所述过渡板抵接在所述门板本体内侧壁上，另一个所述过渡板挤压在所述门板本体内侧壁上；且所述门板本体的内侧壁横截面所在的圆与所述开口板外侧壁横截面所在的圆呈偏心设置；所述门板本体以所述门板本体内侧壁所在的轴心线为旋转轴心线。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆盒，其特征在于，所述门板还包括位于所述盒体底部的驱动连接板，所述驱动连接板包括呈圆弧形结构的驱动连接片，所述驱动连接片的外弧面与所述门板本体连接，内弧面设有驱动连接耳，所述驱动连接耳转动设置在所述盒体底部，并与所述门板启闭机构连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒，其特征在于，所述驱动连接耳的旋转轴心线与所述门板本体的旋转轴心线重合。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒，其特征在于，所述门板启闭机构包括能啮合传动的主动齿轮、从动齿轮，所述主动齿轮转动设置在所述盒体底部，所述从动齿轮固接在所述驱动连接耳上。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒，其特征在于，所述门板启闭机构还包括微移组件，所述微移组件包括配合使用的凸起块、拨片，所述凸起块一体设置在所述驱动连接耳的外壁上；所述拨片同轴设置在所述主动齿轮上，并能推动所述凸起块移动。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒，其特征在于，所述拨片包括固接在所述主动齿轮上的拨片连接部，所述拨片连接部的一侧一体设置有呈扇形结构的扇形本体；所述凸起块上设有供所述扇形本体抵接的抵接圆弧面，且所述抵接圆弧面能与所述扇形本体的外弧面相切。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒，其特征在于，所述主动齿轮的外壁由有齿部、无齿部组成，且当所述拨片固接到所述主动齿轮上时，所述扇形本体朝向所述无齿部一侧。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒，其特征在于，所述主动齿轮的径向尺寸小于所述从动齿轮的径向尺寸。

11.根据权利要求9所述的晶圆盒，其特征在于，所述有齿部的起始端设有能沿所述主动齿轮径向伸缩的活动齿。

12.根据权利要求11所述的晶圆盒，其特征在于，在所述主动齿轮上，沿所述有齿部的起始端所在的径向上依次设有弹簧槽、限位通孔、活动齿槽，所述限位通孔内活动穿设有与弹簧连接的所述活动齿。

13.根据权利要求12所述的晶圆盒，其特征在于，所述活动齿包括活动齿杆，所述活动齿杆的一端延伸进所述弹簧槽内，另一端延伸至所述有齿部处并形成能与所述从动齿轮啮合的齿尖。