[发明专利]EBSM设备成型室的真空环境控制方法、系统、设备及介质

权利要求书

1.一种EBSM设备成型室的真空环境控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

真空启动：发送真空启动指令，依次打开若干阀门和真空泵，待真空室达到真空度要求后，发出控制成型室合格指令至主控系统；其中，若干阀门包括安全阀、蝶阀、插板阀和流量调节阀；若干真空泵包括前级螺杆泵、次级罗茨泵、若干分子泵；

真空启动按如下步骤：

开启蝶阀，依次连通控制成型室与前级螺杆泵之间的气路，启动前级螺杆泵，待前级螺杆泵达到额定转速，开启次级罗茨泵，待控制成型室的前级真空度达到要求后关闭蝶阀，打开插板阀和流量调节阀；若干分子泵同时启动，并检测控制成型室的真空度，直到控制成型室内达到真空度要求后，发出控制成型室合格信号至主控系统；

启动打印：主控系统接收到真空室合格指令后发送打印指令；

真空停止：打印完成后，发送真空停止指令，依次停止若干真空泵和阀门；

其中，真空停止按如下步骤：

关闭若干分子泵，待若干分子泵转速由最高等级降至最低等级时，依次关闭插板阀和流量调节阀，停止次级罗茨泵，待次级罗茨泵的速度降低后停止前级螺杆泵。

2.根据权利要求1所述的一种EBSM设备成型室的真空环境控制方法，其特征在于，在若干分子泵同时启动时，主控系统监测各个分子泵的报警信号，检测是否存在故障，若监测到故障信息，停止插板阀和流量调节阀的开启，对若干分子泵进行检修，反之正常工作。

3.根据权利要求1所述的一种EBSM设备成型室的真空环境控制方法，其特征在于，在开启蝶阀之前，依次对控制成型室门、气缸、安全阀、插板阀及流量调节阀进行监测。

4.根据权利要求1所述的一种EBSM设备成型室的真空环境控制方法，其特征在于，当真空停止后，打开放气阀进行放气，待放气完成后，检测控制成型室的真空计数值，待真空计数值满足要求时，取出打印模具。

5.一种EBSM设备成型室的真空环境控制系统，其特征在于，包括：

第一启动指令模块，用于真空启动：发送真空启动指令，依次打开若干阀门和真空泵，待真空室达到真空度要求后，发出控制成型室合格指令至主控系统；其中，若干阀门包括安全阀、蝶阀、插板阀和流量调节阀；若干真空泵包括前级螺杆泵、次级罗茨泵、若干分子泵；

真空启动按如下步骤：

开启蝶阀，依次连通控制成型室与前级螺杆泵之间的气路，启动前级螺杆泵，待前级螺杆泵达到额定转速，开启次级罗茨泵，待控制成型室的前级真空度达到要求后关闭蝶阀，打开插板阀和流量调节阀；若干分子泵同时启动，并检测控制成型室的真空度，直到控制成型室内达到真空度要求后，发出控制成型室合格信号至主控系统；

第二启动指令模块，用于启动打印：主控系统接收到真空室合格指令后发送打印指令；

停止指令模块，用于真空停止：打印完成后，发送真空停止指令，依次停止若干真空泵和阀门；

其中，真空停止按如下步骤：

关闭若干分子泵，待若干分子泵转速由最高等级降至最低等级时，依次关闭插板阀和流量调节阀，停止次级罗茨泵，待次级罗茨泵的速度降低后停止前级螺杆泵。

6.根据权利要求5所述的一种EBSM设备成型室的真空环境控制系统，其特征在于，所述第一启动指令模块还包括监测模块，用于在若干分子泵同时启动时，主控系统监测各个分子泵的报警信号，检测是否存在故障，若监测到故障信息，停止插板阀和流量调节阀的开启，对若干分子泵进行检修，反之正常工作。

7.一种EBSM设备成型室的真空环境控制设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至6任一项所述一种EBSM设备成型室的真空环境控制方法的步骤。

8.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-6任一项所述一种EBSM设备成型室的真空环境控制方法的步骤。