[发明专利]无氰电镀金液及其制备方法和应用、镀金件及其制备方法有效
申请号: | 202210545876.9 | 申请日: | 2022-05-19 |
公开(公告)号: | CN114703520B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 任长友;王彤;邓川;张喜;文剑 | 申请(专利权)人: | 深圳市联合蓝海黄金材料科技股份有限公司;华为技术有限公司 |
主分类号: | C25D3/48 | 分类号: | C25D3/48 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 张慧汝 |
地址: | 518020 广东省深圳市罗湖区笋*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 无氰电 镀金 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种无氰电镀金液,其特征在于,所述无氰电镀金液包括亚硫酸金盐、亚硫酸盐、3-硝基苯甲酸盐、有机胺、硫脲衍生物和溶剂;
其中,基于所述无氰电镀金液的总量,所述亚硫酸金盐以金元素计的含量为5-20g/L,所述亚硫酸盐的含量为30-200g/L,所述3-硝基苯甲酸盐的含量为1-12g/L,所述有机胺的含量为5-40g/L,所述硫脲衍生物的含量为0.1-20mg/L。
2.根据权利要求1所述的无氰电镀金液,其中,所述亚硫酸金盐选自亚硫酸金钠、亚硫酸金钾和亚硫酸金铵中的一种或多种;
和/或,所述亚硫酸盐选自亚硫酸钠、亚硫酸氢钠、亚硫酸钾、亚硫酸氢钾、亚硫酸铵和亚硫酸氢铵中的一种或多种。
3.根据权利要求1或2所述的无氰电镀金液,其中,所述3-硝基苯甲酸盐选自3-硝基苯甲酸钠、3-硝基苯甲酸钾以及3-硝基苯甲酸与无机碱形成的混合物中的一种或多种;其中,所述无机碱选自氢氧化钠和/或氢氧化钾。
4.根据权利要求3所述的无氰电镀金液,其中,所述3-硝基苯甲酸盐选自3-硝基苯甲酸钠或3-硝基苯甲酸与氢氧化钠形成的混合物。
5.根据权利要求1或2所述的无氰电镀金液,其中,所述有机胺选自乙二胺化合物、二乙烯三胺、三乙烯二胺和四乙烯五胺中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的无氰电镀金液,其中,所述硫脲衍生物选自硫脲、双硫脲、甲硫脲、乙硫脲、四甲基硫脲、二乙基硫脲、氨基硫脲中的一种或多种。
7.根据权利要求1所述的无氰电镀金液,其中,所述无氰电镀金液的pH值为6.5-8。
8.根据权利要求7所述的无氰电镀金液,其中,所述无氰电镀金液的pH值为为6.7-7.5。
9.一种无氰电镀金液的制备方法,其特征在于,所述方法包括:将亚硫酸金盐、亚硫酸盐、3-硝基苯甲酸盐、有机胺、硫脲衍生物和溶剂进行混合,得到无氰电镀金液;
或,所述方法包括先将亚硫酸盐、3-硝基苯甲酸盐、有机胺溶解在溶剂中,然后再加入亚硫酸金盐和硫脲衍生物进行混合,得到无氰电镀金液。
10.权利要求1-8中任意一项所述的无氰电镀金液或权利要求9所述方法制备的无氰电镀金液在镀金件制备中的应用。
11.根据权利要求10所述的应用,其中,所述应用为在半导体镀金件制备中的应用。
12.一种镀金件的制备方法,其特征在于,所述方法包括:将待镀件放在权利要求1-8中任意一项所述无氰电镀金液中利用直流电进行电镀,得到镀金件;其中,所述电镀的温度为35-70℃,电流密度为0.7-0.9 ASD,电镀时间为5-150min。
13.一种利用权利要求12所述制备方法制备得到的镀金件;其中,所述镀金件的镀层为晶面(220)高度取向的电镀金,其中,所述晶面(220)的占比≥95%。
14.根据权利要求13所述的镀金件;其中,所述晶面(220)的占比≥98%。
15.根据权利要求13或14所述的镀金件,其中,所述电镀金还包括晶面(311),其中,所述晶面(311)的占比≤5%;
和/或,所述电镀金在270℃下热处理30min后测得的硬度为40-80 HV。
16.根据权利要求15所述的镀金件,其中,所述晶面(311)的占比≤2%;
和/或,所述电镀金在270℃下热处理30min后测得的硬度为50-70HV。
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