[发明专利]用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统在审
申请号: | 202210547168.9 | 申请日: | 2022-05-19 |
公开(公告)号: | CN114990512A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 孙晨皓;贾逸轩;杨培勇;刘浩;陆维;卢华兴 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团氢能科技发展有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56;B65G47/91 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 廉世坤 |
地址: | 102209 北京市昌平区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 真空镀膜 装载 上下 设备 连续 系统 | ||
1.一种用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,包括:
本体,所述本体具有镀膜窗口,所述镀膜窗口沿第一预设方向贯通所述本体;和
压制件,所述压制件在压制工件的压制位置和脱离工件的脱离位置之间可转动地设在所述本体上,位于所述压制位置的所述压制件与所述本体配合以便将工件压制在所述本体上。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述本体还具有用于容纳工件的容纳槽,所述镀膜窗口在所述第一预设方向上与所述容纳槽相对,所述镀膜窗口与所述容纳槽连通。
3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述压制件包括转动部和压制部,所述转动部在所述压制位置和所述脱离位置之间可转动地设在所述本体上,所述压制部设在所述转动部上,其中位于所述压制位置的所述压制件的所述压制部与所述容纳槽的底壁面在所述第一预设方向上相对设置以便所述压制部将工件压制在所述容纳槽的底壁面上,所述镀膜窗口开设在所述容纳槽的底壁面上。
4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述转动部和所述本体中的一者具有限位槽,所述挂装载具进一步包括限位件,所述限位件在限位位置和缩回位置之间可移动地设在所述转动部和所述本体中的另一者上,其中所述压制件位于所述压制位置时,所述限位件位于所述限位位置,所述限位件的至少一部分配合在所述限位槽内,所述压制件位于所述脱离位置时,所述限位件位于所述缩回位置,所述限位件脱离所述限位槽。
5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述本体具有容纳腔,所述转动部的第一部分位于所述容纳腔内,所述第一部分和所述容纳腔的壁面中的一者设有所述限位槽。
6.根据权利要求5所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述限位槽设在所述第一部分的周面上,所述容纳腔的壁面上设有限位件槽,所述限位件在所述限位位置和所述缩回位置之间可移动地设在所述限位件槽内,其中位于所述限位位置的所述限位件的至少一部分伸出所述限位件槽,位于所述缩回位置的所述限位件的至少一部分位于所述限位件槽内。
7.根据权利要求6所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述挂装载具进一步包括位于所述限位件槽内的第一弹性件,所述第一弹性件的一端抵靠在所述限位件槽的壁面上,所述第一弹性件的另一端抵靠在所述限位件上,其中所述第一弹性件处于形变状态以便将所述限位件常推向所述限位位置。
8.根据权利要求4所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述限位槽的壁面为弧形面,位于所述限位位置的所述限位件的第一端部配合在所述限位槽内,所述第一端部的表面为弧形面。
9.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述本体具有沿第二预设方向间隔排列的多个所述容纳槽,每个所述容纳槽的底壁面上开设有所述镀膜窗口,所述第二预设方向垂直于所述第一预设方向,其中所述转动部的转动轴线平行于所述第二预设方向,所述压制部为多个,多个所述压制部沿所述第二预设方向间隔开地设在所述转动部上,每个所述容纳槽的底壁面与位于所述压制位置的所述压制件的至少一个所述压制部在所述第一预设方向上相对设置。
10.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述压制件进一步包括连接部,所述连接部的一端与所述转动部相连,所述连接部的另一端与所述压制部相连。
11.根据权利要求10所述的用于真空镀膜的挂装载具,其特征在于,所述压制件进一步包括用于压制工件的第二弹性件,所述第二弹性件的一端与所述连接部相连,所述第二弹性件的另一端与所述压制部相连,其中位于所述压制位置的所述压制件的所述第二弹性件处于形变状态以便将工件推向所述本体。
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