[发明专利]用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统在审
申请号: | 202210547168.9 | 申请日: | 2022-05-19 |
公开(公告)号: | CN114990512A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 孙晨皓;贾逸轩;杨培勇;刘浩;陆维;卢华兴 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团氢能科技发展有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56;B65G47/91 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 廉世坤 |
地址: | 102209 北京市昌平区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 真空镀膜 装载 上下 设备 连续 系统 | ||
本发明公开了一种用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统。挂装载具包括:本体,所述本体具有镀膜窗口,所述镀膜窗口沿第一预设方向贯通所述本体;和压制件,所述压制件在压制工件的压制位置和脱离工件的脱离位置之间可转动地设在所述本体上,位于所述压制位置的所述压制件与所述本体配合以便将工件压制在所述本体上。通过利用根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具,可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本、提高产品合格率。
技术领域
本发明涉及镀覆技术领域,具体地,涉及用于真空镀膜的挂装载具,还涉及包括该挂装载具的上下料设备和连续真空镀膜系统。
背景技术
为了提高工件(例如燃料电池的金属双极板)的耐腐蚀性能,可以利用真空镀膜的方式在工件的表面镀覆薄膜或涂层。例如,燃料电池的金属双极板的耐腐蚀性相对较差,在燃料电池的使用环境中,金属双极板腐蚀后溶出的金属离子会污染燃料电池的质子交换膜,降低电堆的整体性能进而造成电堆失效。此外,腐蚀后金属表面生成的钝化膜会增大金属双极板表面的接触电阻,也会降低电堆的性能。因此,在金属双极板的加工成型工艺过程中,表面镀膜处理作为关键工序,可以有效提升金属双极板的耐蚀性和耐久性,降低接触电阻。
包括金属双极板在内的工件的挂装和卸料是工件镀膜生产中的重要一环,直接影响着镀膜的效率、质量和成本。目前,相关技术中工件的镀膜过程中,挂装和卸料都是人工进行,需依靠人力将工件依次挂装到镀膜转架并用弹簧装置勾紧,以防止工件在镀膜腔室中掉落,保证工件与转架间有良好的导电性。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的实施例提出一种用于真空镀膜的挂装载具、上下料设备和连续真空镀膜系统。
根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具包括:本体,所述本体具有镀膜窗口,所述镀膜窗口沿第一预设方向贯通所述本体;和压制件,所述压制件在压制工件的压制位置和脱离工件的脱离位置之间可转动地设在所述本体上,位于所述压制位置的所述压制件与所述本体配合以便将工件压制在所述本体上。
通过利用根据本发明实施例的用于真空镀膜的挂装载具,可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本。
可选地,所述本体还具有用于容纳工件的容纳槽,所述镀膜窗口在所述第一预设方向上与所述容纳槽相对,所述镀膜窗口与所述容纳槽连通。
可选地,所述压制件包括转动部和压制部,所述转动部在所述压制位置和所述脱离位置之间可转动地设在所述本体上,所述压制部设在所述转动部上,其中位于所述压制位置的所述压制件的所述压制部与所述容纳槽的底壁面在所述第一预设方向上相对设置以便所述压制部将工件压制在所述容纳槽的底壁面上,所述镀膜窗口开设在所述容纳槽的底壁面上。
可选地,所述转动部和所述本体中的一者具有限位槽,所述挂装载具进一步包括限位件,所述限位件在限位位置和缩回位置之间可移动地设在所述转动部和所述本体中的另一者上,其中所述压制件位于所述压制位置时,所述限位件位于所述限位位置,所述限位件的至少一部分配合在所述限位槽内,所述压制件位于所述脱离位置时,所述限位件位于所述缩回位置,所述限位件脱离所述限位槽。
可选地,所述本体具有容纳腔,所述转动部的第一部分位于所述容纳腔内,所述第一部分和所述容纳腔的壁面中的一者设有所述限位槽。
可选地,所述限位槽设在所述第一部分的周面上,所述容纳腔的壁面上设有限位件槽,所述限位件在所述限位位置和所述缩回位置之间可移动地设在所述限位件槽内,其中位于所述限位位置的所述限位件的至少一部分伸出所述限位件槽,位于所述缩回位置的所述限位件的至少一部分位于所述限位件槽内。
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