[发明专利]显示面板、显示面板的制作方法及显示装置在审
申请号: | 202210548035.3 | 申请日: | 2022-05-18 |
公开(公告)号: | CN114864606A | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 胡佩;林丽锋;胡波;王建树;李春雨;林欣;周融 | 申请(专利权)人: | 福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 何家鹏;孟维娜 |
地址: | 350300 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 制作方法 显示装置 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
衬底基板;
多个像素单元,所述多个像素单元位于所述衬底基板的一侧且呈矩阵分布,所述像素单元包括晶体管,所述晶体管包括位于所述衬底基板一侧的有源层,以及位于所述有源层的远离所述衬底基板一侧的第一金属层,所述第一金属层包括与所述有源层电连接的源极和漏极;
所述像素单元还包括像素电极层,所述像素电极层与所述晶体管电连接,所述像素电极层位于所述第一金属层远离所述有源层的一侧,且所述像素电极层在所述衬底基板上的投影至少部分覆盖所述源极和所述漏极在所述衬底基板上的投影。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述像素电极层在所述衬底基板上的投影覆盖所述源极和所述漏极在所述衬底基板上的投影。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述晶体管还包括:
第二金属层,所述第二金属层位于所述衬底基板的一侧,所述第二金属层包括栅极;
第一绝缘层,所述第一绝缘层位于所述第二金属层远离所述衬底基板的一侧,且所述第一绝缘层覆盖所述第二金属层。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述像素单元还包括:
第一钝化层,所述第一钝化层位于所述像素电极层远离所述衬底基板的一侧;
公共电极层,所述公共电极层位于所述第一钝化层远离所述像素电极层的一侧,所述公共电极层过孔与所述栅极连接。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述像素电极层和所述公共电极层的材料包括氧化铟锡、氧化铟锌、铟锡镓氧化物中的至少一种。
6.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述多个像素单元中至少部分像素单元中的公共电极层与相邻像素单元中的公共电极层电连接。
7.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述源极和所述漏极与所述有源层直接接触电连接。
8.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述像素单元还包括液晶单元,所述液晶单元与所述晶体管对应设置,所述晶体管用于驱动所述液晶单元内的液晶分子发生偏转。
9.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一衬底基板;
在所述衬底基板的一侧形成有源层;
在所述有源层远离所述衬底基板的一侧形成第一金属层;
提供一第一掩膜版,通过所述第一掩膜版及第一刻蚀液刻蚀所述第一金属层,使刻蚀后的第一金属层在所述衬底基板上的正投影覆盖所述有源层在所述衬底基板上的正投影;
提供一第二掩膜板,通过所述第二掩膜版及第二刻蚀液在所述第一金属层远离所述有源层的一侧形成像素电极层;
提供一第三掩膜板,通过所述第三掩膜板及所述第一刻蚀液继续刻蚀所述第一金属层,形成源极和漏极,所述像素电极层在所述衬底基板上的投影至少部分覆盖所述源极和所述漏极在所述衬底基板上的投影。
10.根据权利要求9所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二掩膜板与所述第三掩膜板的结构相同。
11.根据权利要求9所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述有源层的材料包括氧化铟锡、氧化铟锌、铟锡镓氧化物中的至少一种;
所述像素电极层的材料包括氧化铟锡、氧化铟锌、铟锡镓氧化物中的至少一种。
12.根据权利要求9所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一刻蚀液包括磷酸和硝酸;
所述第二刻蚀液包括硫酸和硝酸。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的