[发明专利]一种高精度测试装置

权利要求书

1.一种高精度测试装置，其特征在于：它包括下压模组（1）、探针卡调节模组（2）、探针卡模组（3）、载具模组（4）和顶升模组（5），所述探针卡调节模组（2）设置在所述下压模组（1）的动作端，所述探针卡模组（3）设置在所述探针卡调节模组（2）的动作端，所述载具模组（4）设置在所述顶升模组（5）的动作端的上方且位于所述探针卡模组（3）的下方。

2.根据权利要求1所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述探针卡模组（3）包括PCBA（31）、悬臂探针卡（32）和若干个信号转接口（33），所述PCBA（31）设置在所述探针卡调节模组（2）的动作端，所述悬臂探针卡（32）和若干个所述信号转接口（33）分别设置在所述PCBA（31）的下端两侧。

3.根据权利要求1所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述载具模组（4）包括载具基板（41）、载具浮动板（42）、产品载具（43）和若干个真空接口（44），所述载具浮动板（42）浮动设置在所述载具基板（41）上，所述载具浮动板（42）上开设有载具定位槽（45），所述产品载具（43）设置在所述载具定位槽（45）内，所述载具定位槽（45）内设有与所述真空接口（44）连通的真空气道（47），所述真空气道（47）与开设在所述产品载具（43）上的产品槽（46）配合。

4.根据权利要求1所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述下压模组（1）包括安装竖座（11）、Z轴直线模组（12）和下压座（13），所述安装竖座（11）竖直设置，所述Z轴直线模组（12）设置在所述安装竖座（11）的侧面，所述下压座（13）固定在所述Z轴直线模组（12）的动作端。

5.根据权利要求4所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述探针卡调节模组（2）包括工业相机（21）、UVW对位平台（22）和调节座（23），所述工业相机（21）设置在所述下压座（13）上，所述UVW对位平台（22）设置在所述下压座（13）的下端且位于所述工业相机（21）的下方，所述调节座（23）设置在所述UVW对位平台（22）的动作端，所述探针卡模组（3）设置在所述调节座（23）的下端，所述UVW对位平台（22）和所述调节座（23）上均设有与所述工业相机（21）配合的拍摄口。

6.根据权利要求1所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述顶升模组（5）包括顶升座（51）、横移直线模组（52）、竖直丝杆模组（53）、承载座（54）和CCD相机（55），所述横移直线模组（52）设置在所述顶升座（51）的一侧，所述竖直丝杆模组（53）和所述CCD相机（55）均设置在所述横移直线模组（52）的动作端，所述承载座（54）设置在所述竖直丝杆模组（53）的动作端，所述承载座（54）上设置有与所述载具模组（4）相配合的定位顶升组件（56）。

7.根据权利要求1所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述探针卡模组（3）和所述载具模组（4）之间设置有载具固定模组（6），所述载具固定模组（6）包括固定托架（61），所述固定托架（61）上对称设置有两个气缸座（62），所述气缸座（62）上设置有下压气缸（63），所述下压气缸（63）的输出端连接有下压固定板（64），所述下压固定板（64）上开设有测试通槽（65），所述测试通槽（65）位于所述载具模组（4）的上方。

8.根据权利要求7所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述载具固定模组（6）的一侧设置有载具转移模组（7），所述载具转移模组（7）包括旋转气缸（71），所述旋转气缸（71）的动作端设置有旋转托板（72），所述旋转托板（72）位于所述顶升模组（5）的上方且两端均开设有与所述载具模组（4）相适配的放置槽（73），所述放置槽（73）内开设有与所述顶升模组（5）相配合的顶升通槽（74）。

9.根据权利要求5所述的一种高精度测试装置，其特征在于：所述探针卡调节模组（2）还包括相机光源（24），所述相机光源（24）位于所述工业相机（21）和所述拍摄口之间。

10.根据权利要求1所述的一种高精度测试装置，其特征在于：它还包括大底板（8），所述大底板（8）上开设有让位口（9），所述顶升模组（5）设置在所述大底板（8）的下端并与所述让位口（9）配合，所述下压模组（1）设置在所述大底板（8）的上端。