[发明专利]一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法

权利要求书

1.一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、先将石英管本体（21）插接到不同的夹持座（2）的内部，并使不同的石英管本体（21）与不同的清理杆（35）相对应；之后通过外界电源驱动此气缸架（101）内部的气缸和活塞柱运转，使活塞柱带动连接板（102）移动；

S2、之后连接板102会带动压柱（3）下压转动轮（32），由于转动轮（32）转动连接在压柱（3）的表面，且转动轮（32）表面开设的导向槽（33）与卡柱（34）相适配；所述在压柱（3）给予转动轮（32）向下压力时，压柱（3）会带动转动轮（32）在卡柱（34）和导向槽（33）的作用下，发生边向下边转动的状态运转，且转动轮（32）会同时带动其下方的清理杆（35）向石英管本体（21）内部移动；

S3、在清理杆（35）移动过程中，清理杆（35）外表面的偏转杆（37）会首先与石英管本体（21）接触，并带动偏转杆（37）发生转动，从而偏转杆（37）会带动刮板（38）转动，之后刮板（38）会抵压在石英管本体（21）的内壁，并对对石英管本体（21）内壁堆积的积碳进行刮除处理；

清理座（1）的表面固定连接有夹持座（2），所述夹持座（2）的数量为多个，且呈等距离连接在清理座（1）的上表面；每个夹持座（2）的内部均设置有石英管本体（21），所述清理座（1）的后侧固定连接有气缸架（101），所述气缸架（101）的下方设置有连接板（102），所述连接板（102）的下表面固定连接有多个与石英管本体（21）呈对应设置的压柱（3），所述石英管本体（21）的上方设置有连接座（31）；所述压柱（3）的一端贯穿在连接座（31）的内部，所述压柱（3）的下端面转动连接有转动轮（32），所述转动轮（32）的外表面开设有导向槽（33），所述连接座（31）的内部固定连接有与导向槽（33）相适配的卡柱（34）；所述转动轮（32）的下端面固接有清理杆（35），所述清理杆（35）的外表面转动连接有偏转杆（37），所述偏转杆（37）的外表面固接有刮板（38）；所述连接座（31）的内部设置有限位框架（311），所述限位框架（311）的表面开设有限位槽，且限位槽的直径和压柱（3）的直径相等；

所述夹持座（2）的内部滑动连接有多个拉杆（4），且拉杆（4）呈圆周阵列设置在夹持座（2）的内部；所述拉杆（4）靠近夹持座（2）的中部连接有环形套（41），所述拉杆（4）的外表面且与夹持座（2）内壁相连接有拉簧（42）；所述清理杆（35）的内部滑动连接有滑杆（5），所述滑杆（5）的上方转动连接有抵压杆（51）；所述抵压杆（51）的一端与滑杆（5）的外表面相连接，另一端与偏转杆（37）的外表面相连接；所述滑杆（5）的底部且位于清理杆（35）的内壁固定连接有拉伸弹簧（52）；所述清理杆（35）的内部开设有与滑杆（5）相适配的滑槽。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，其特征在于：所述滑杆（5）的外表面固定连接有挤压块（53），所述清理杆（35）的内部固定连接有多个储液腔体（54），所述储液腔体（54）的数量为两个，且呈左右对称设置；所述储液腔体（54）的内部滑动连接有活塞板（55），所述活塞板（55）靠近滑杆（5）的一侧固定连接有弧形杆（56），所述弧形杆（56）的上下两侧且位于储液腔体（54）的内壁均固定连接有限位弹簧（561），所述活塞板（55）的宽度和储液腔体（54）的宽度相等。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，其特征在于：所述清理杆（35）的内部开设有流通槽孔（351）；所述流通槽孔（351）的下端贯穿在储液腔体（54）的内部。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，其特征在于：所述清理杆（35）的上方固定连接有清理环座（6），所述清理环座（6）的直径大于石英管本体（21）的直径。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，其特征在于：所述清理环座（6）的内壁固定连接有紧压弹簧（61），所述紧压弹簧（61）设置多个，且呈圆周阵列设置在清理环座（6）的内壁，所述紧压弹簧（61）靠近清理杆（35）的一侧固定连接有清理环板（62）。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，其特征在于：所述清理环板（62）的外表面固定连接有吸水环板（621），所述吸水环板（621）的直径大于清理环板（62）的直径。