[发明专利]晶棒治具组件与晶棒边抛机台

权利要求书

1.一种晶棒治具组件，其特征在于，包括：

端面夹持治具，包括相对的两夹持部；以及

晶棒定位治具，位于所述端面夹持治具的下方，且包括：

第一基座；

调整座，位于所述第一基座与所述端面夹持治具之间，且沿第一轴线可移动地设置于所述第一基座，以靠近或远离所述端面夹持治具；以及

两滚轮，可转动地设置在所述调整座上。

2.根据权利要求1所述的晶棒治具组件，其特征在于，当晶棒被设置在所述晶棒定位治具的所述两滚轮上时，所述两滚轮承托所述晶棒的环状面，所述调整座适于相对于所述第一基座移动，以使所述晶棒移入所述端面夹持治具的所述两夹持部之间，所述晶棒包括相对的两端面，且所述端面夹持治具的所述两夹持部抵靠所述晶棒的所述两端面，以固定所述晶棒。

3.权利要求2所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述晶棒的中心与各所述夹持部的中心共轴。

4.根据权利要求1所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述晶棒定位治具还包括第一螺杆及螺杆调整旋钮，所述第一螺杆沿所述第一轴线延伸且固定于所述调整座，所述第一基座包括主体及固定于所述主体的盖体，所述螺杆调整旋钮可转动地设置于所述主体与所述盖体之间，所述第一螺杆穿设于所述盖体、所述螺杆调整旋钮与所述主体，且螺接于所述螺杆调整旋钮。

5.根据权利要求4所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述第一螺杆的延伸方向通过所述两夹持部的两中心的连线。

6.根据权利要求1所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述晶棒定位治具还包括沿所述第一轴线延伸的导杆，穿设于所述第一基座与所述调整座。

7.根据权利要求1所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述第一基座沿第二轴线可移动地设置于所述端面夹持治具的下方，所述第二轴线垂直于所述第一轴线。

8.根据权利要求7所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述晶棒定位治具还包括沿所述第二轴线延伸的调整螺丝，穿设于所述第一基座，且适于抵靠至外壳，以调整所述第一基座相对于所述端面夹持治具在所述第二轴线上的位置。

9.根据权利要求1所述的晶棒治具组件，其特征在于，还包括：

驱动模块，设置于所述端面夹持治具旁；以及

抛光模块，位于所述驱动模块与所述端面夹持治具之间，且连动于所述驱动模块。

10.根据权利要求9所述的晶棒治具组件，其特征在于，还包括：

移动治具，包括第二基座及螺接于所述第二基座的第二螺杆，其中所述驱动模块螺接于所述第二螺杆，而随所述第二螺杆可移动地设置于所述第二基座上，以使所述抛光模块靠近或远离所述端面夹持治具。

11.根据权利要求9所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述抛光模块包括钻石磨片或钻石毛刷。

12.根据权利要求1所述的晶棒治具组件，其特征在于，还包括：

辅助定位治具，沿第二轴线可移动地设置于所述端面夹持治具旁，且包括两定位滚轮，其中所述两定位滚轮之间的连线平行于所述第一轴线。

13.根据权利要求12所述的晶棒治具组件，其特征在于，所述辅助定位治具包括沿所述第二轴线延伸的定位杆，所述定位杆的延伸方向通过所述两夹持部的两中心的连线。