[发明专利]晶棒治具组件与晶棒边抛机台

说明书

本发明提供一种晶棒治具组件，包括端面夹持治具及晶棒定位治具。端面夹持治具包括相对的两夹持部。晶棒定位治具位于端面夹持治具的下方，且包括第一基座、调整座及两滚轮。调整座位于第一基座与端面夹持治具之间，且沿第一轴线可移动地设置于第一基座，以靠近或远离端面夹持治具。两滚轮可转动地设置在调整座上。本发明的晶棒治具组件可简单且方便的方式固定于晶棒。另提供一种晶棒边抛机台。

技术领域

本发明涉及一种治具组件及一种边抛机台，尤其涉及一种晶棒治具组件及一种晶棒边抛机台。

背景技术

在晶棒的边缘抛光制程中，目前是利用轴棒以黏合的方式固定于晶棒的端面，进而使晶棒可利用轴棒来固定于车床，以进行边缘抛光制程，结束时再将轴棒与晶棒的端面分离。然而，轴棒的黏胶及脱胶过程相当花费时间与工序。此外，在现有的制程中，晶棒的调心作业是以千分表与胶槌敲击方式来校正，不但手续繁复，胶槌敲击晶棒可能会使得晶棒发生内裂。

此外，在一般边缘抛光制程中，若所使用的晶棒有不同尺寸的差异，例如4寸、6寸或8寸的晶棒，会使抛光作业前的晶棒位置固定及中心调整的程序更加耗时。

发明内容

本发明提供一种晶棒治具组件，其可简单且方便的方式固定于晶棒。

本发明另提供一种晶棒边抛机台，可快速且方便地固定晶棒且调整晶棒的位置。

本发明的一种晶棒治具组件，包括端面夹持治具及晶棒定位治具。端面夹持治具包括相对的两夹持部。晶棒定位治具位于端面夹持治具的下方，且包括第一基座、调整座及两滚轮。调整座位于第一基座与端面夹持治具之间，且沿第一轴线可移动地设置于第一基座，以靠近或远离端面夹持治具。两滚轮可转动地设置在调整座上。

在本发明的一实施例中，当晶棒被设置在晶棒定位治具的两滚轮上时，两滚轮承托晶棒的环状面，调整座适于相对于第一基座移动，以使晶棒移入端面夹持治具的两夹持部之间，晶棒包括相对的两端面，且端面夹持治具的两夹持部抵靠晶棒的两端面，以固定晶棒。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒定位治具还包括第一螺杆及螺杆调整旋钮，第一螺杆沿第一轴线延伸且固定于调整座，第一基座包括主体及固定于主体的盖体，螺杆调整旋钮可转动地设置于主体与盖体之间，第一螺杆穿设于盖体、螺杆调整旋钮与主体，且螺接于螺杆调整旋钮。

在本发明的一实施例中，第一螺杆的延伸方向通过两夹持部的两中心的连线。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒定位治具还包括沿第一轴线延伸的导杆，穿设于第一基座与调整座。

在本发明的一实施例中，上述的第一基座沿第二轴线可移动地设置于端面夹持治具的下方，第二轴线垂直于第一轴线。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒定位治具还包括沿第二轴线延伸的调整螺丝，穿设于第一基座，且适于抵靠至外壳，以调整第一基座相对于端面夹持治具在第二轴线上的位置。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒治具组件还包括驱动模块及抛光模块。驱动模块设置于端面夹持治具旁。抛光模块位于驱动模块与端面夹持治具之间，且连动于驱动模块。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒治具组件还包括移动治具，包括第二基座及螺接于第二基座的第二螺杆，其中驱动模块螺接于第二螺杆，而随第二螺杆可移动地设置于第二基座上，以使抛光模块靠近或远离端面夹持治具。

在本发明的一实施例中，上述的抛光模块包括钻石磨片或钻石毛刷。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒治具组件还包括辅助定位治具，沿第二轴线可移动地设置于端面夹持治具旁，且包括两定位滚轮，其中两定位滚轮之间的连线平行于第一轴线。

在本发明的一实施例中，上述的辅助定位治具包括沿第二轴线延伸的定位杆，定位杆的延伸方向通过两夹持部的两中心的连线。