[发明专利]一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法

权利要求书

1.一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，其特征在于，该方法的具体步骤为：将锌基金属合金放入RPD设备的坩埚中，用机械泵及分子泵将RPD腔体抽至背底真空，之后通过流量计通入不同流量的氩气、氧气以及氢气，并开始调节压力；

电源开始工作前，并向RPD腔体内通入氩气、氧气，调整RPD腔体内压力到稳定状态；

RPD腔体内压力调节完成后，调整电源电流并启动电源，当观察到成功启辉且辉光稳定后打开挡板开始镀膜；

以质量分数表示，作为RPD蒸发源的所述锌基金属合金包括以下组分：90％-99.5％的Zn和0.05％-10％的其他金属，所述锌基金属合金的金属可以是二元的或多元的。

2.根据权利要求1所述的一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，其特征在于：所述背底真空为8×10^-4Pa。

3.根据权利要求1所述的一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，其特征在于：所述锌基金属合金中的其他金属为Al、Mg、Sn中的一种或者数种。

4.根据权利要求1所述的一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，其特征在于：RPD腔体内压力为0.1-1Pa。

5.根据权利要求1所述的一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，其特征在于：向RPD腔体内通入氩气的流量为10-100sccm，氧气的流量为5-50sccm。

6.根据权利要求1所述的一种使用锌基金属合金作为蒸发源制备AZO膜的方法，其特征在于：RPD腔体内压力调节完成后，调整电源的电流为30-60A并启动电源，此时对应的电源电压为30-40V。