[发明专利]一种IGBT动态参数测试系统检测方法及其检测装置

说明书

一种IGBT动态参数测试系统检测方法及其检测装置，属于半导体元器件测试系统检测技术领域。针对IGBT动态参数测试系统主要可施加技术性能指标VGE、VC、IC，采用相应的外部测试组件，通过适配器连接到测试系统的IGBT夹具装置上，对测试系统进行同步检测，读取相应标准器上的检测数据，进行测试数据的比对。针对时间参数检测，断开测试系统内置示波器，用标准正弦波信号发生器与内置示波器连接，分别设置内置示波器的时间参数量程及正弦波信号发生器的输出信号周期，用测试系统分别测试正弦波信号发生器及内置示波器，进行比对检测。解决现有IGBT模块动态参数测试系统不能校准、量值不能溯源的问题。广泛应用于IGBT动态参数测试系统的设备检测。

技术领域

本发明属于半导体元器件测试系统检测技术领域，进一步来说涉及绝缘栅双极型晶体管(IGBT)测试系统检测领域，具体来说，涉及一种IGBT动态参数测试系统检测方法及其检测装置。

背景技术

现有IGBT动态参数测试系统对IGBT模块动态参数进行测试时，由测试系统给IGBT模块提供电源，对IGBT模块进行电源的开通或关断，在这个过程中完成IGBT模块的动态参数测试，并将开关参数(开通延时时间、电流上升时间、关断延时时间、电流下降时间、开通损耗、关断损耗、恢复时间、恢复电荷)、栅电荷等经测试软件处理后，在电脑装置上显示和输出测试报告。

现有IGBT模块动态参数测试系统的VC测试电压为200V-1000V、IC测试电流为300A-500A，通常是将IGBT模块放置在专用适配器内，在电脑上设置测试条件，自动完成全桥动态参数测试。由于现有IGBT模块动态参数测试系统构造复杂，系统集成度高，精度高，通常测试的参数多，设备自身保护功能强，测试系统不兼容外部标准源，不允许采用从外部接入标准物或标准电路来检测设备技术性能指标的常规检测方法，对整机测试系统的检测能力没法进行评估，无法制定相应的校准规范或检定规程，系统检测报告不具有溯源性。无相应的校准规范或检定规程可参照执行，只能默认设备生产厂家的出厂状态正常。对于数据统一、量值溯源(量值传递)不能保证。在对IGBT模块做鉴定时，这种矛盾尤为突出，重复性、再现性、一致性差。不能满足产品的标准化测试要求，测试端、使用端、认证端标准难统一，造成IGBT模块生产合格率低，经济损失大，生产成本非常高。

为此，特提出本发明。

发明内容

本发明旨在解决现有IGBT模块动态参数测试系统不能校准或检定、量值不能溯源的问题。实现整机检测及整机能力评估，出具可再现、可重复、满足溯源要求的校准报告。

本发明的发明构思是：对测试系统按施加的测试条件、完成的参数测试要求进行能力分解，通过整合不同的检测装置，实现对测试系统的整机检测。采用程控正弦波信号发生器、脉冲电压和电流信号检测组件(高低电压、大小电流)、标准IGBT模块(高压、大电流)、适配器、连接线，按测试原理组成检测装置，将直接测量、间接测量、比较测量方法集成于一体，对全参数重复性、稳定性进行检测，从而系统地、全面地对IGBT动态参数测试系统的进行性能检测和整机能力评估。

为此，本发明提供一种IGBT模块动态参数测试系统的检测方法，包括如下步骤：

1、针对不同的测试参数，采用相应的外部测试组件，通过适配器连接到IGBT动态参数测试系统的IGBT夹具装置上，用于对IGBT动态参数测试系统的同步检测，一起完成检测任务，并读取相应标准器上的检测数据，进行测试数据的比对。

2、VGE电压检测：采用脉冲电压信号检测组件在被测IGBT模块的GE端捕捉VGE信号。通过在设备量程范围内设置多个不同的VGE电压测量点，将脉冲电压信号检测组件检测到的数据、测试系统检测到的数据与设置的数据进行比较。

3、VC电压检测：采用脉冲电压信号检测组件在被测IGBT模块的CE端捕捉VCE信号，通过在设备量程范围内设置多个不同的VCE电压测量点，将脉冲电压信号检测组件检测到的数据、测试系统检测到的数据与设置的数据进行比较。