[发明专利]一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件及其制作方法在审
| 申请号： | 202210873557.0 | 申请日： | 2022-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN115128738A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 冯新凯;梁万国 | 申请（专利权）人： | 闽都创新实验室 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所(普通合伙) 35001 | 代理人： | 何小星 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 梯形 衬底 ppln 脊形波导 器件 及其 制作方法 | ||
1.一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)取一片经高压极化过的铌酸锂，即周期极化的铌酸锂晶体，在其表面两侧边缘分别划刻一系列深度递增的划痕，形成一个梯形衬底(1)；
(2)在各划痕里填满带颜色的胶水或者粉末；
(3)另取一片与步骤(1)中铌酸锂晶体同尺寸的盖板(3)；
(4)将周期极化铌酸锂晶体带有划痕的面和盖板(3)之间使用低折射率的胶水，在25-60℃进行胶合形成胶合层(2)；
(5)在未胶合盖板(3)的周期极化铌酸锂晶体的另一面进行粗抛光，边抛边修正，当抛到出现有颜色的粉末时停止粗抛光，再改用精细抛光和抛亮，即可完成梯形铌酸锂薄膜的抛光；
(6)最后使用划片机在进行抛光的周期极化铌酸锂晶体的表面切割出需要尺寸的脊形波导，进而形成具有梯形衬底(1)的PPLN脊形波导器件。
2.如权利要求1所述的一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，所述周期极化的铌酸锂晶体厚度为0.5-1mm。
3.如权利要求1所述的一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，所述步骤(1)中划痕深度为13-17μm，其中，最浅处划痕的深度比所述薄膜厚度比所需薄膜厚度深0.1-0.3μm的划痕。
4.如权利要求1所述的一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，所述盖板(3)为硅材料或为未极化的铌酸锂晶体。
5.如权利要去4所述的一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，所述盖板(3)的厚度为1-2mm。
6.如权利要求1所述的一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，所述划痕里填满带颜色的胶水或者粉末为至少3种不同的颜色。
7.如权利要求1所述的一种具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件的制作方法，其特征在于，所述低折射率胶水的折射率低于铌酸锂的折射率低，折射率为1.4-2。
8.一种根据权利要求1至7任一所述的制作方法制得的具有梯形衬底的PPLN脊形波导器件。
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