[发明专利]一种样品支撑柱安装结构

权利要求书

1.一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：包括样品支撑柱、位移台，所述样品支撑柱与所述位移台可拆卸连接，所述样品支撑柱包括样品吸附端，所述样品支撑柱设置有第一导气孔，所述第一导气孔与所述样品吸附端气路连接；所述位移台设置有第二导气孔；所述第二导气孔、第一导气孔相互对位。

2.如权利要求1所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述第一导气孔、第二导气孔的接触面处设置有吸附槽，所述吸附槽的面积大于所述第一导气孔、第二导气孔的截面面积。

3.如权利要求2所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述连接板与所述位移台面接触。

4.如权利要求1所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述样品支撑柱还包括密封块，所述密封块设置于所述样品支撑柱与所述位移台的接触面上，所述第一导气孔设置于所述密封块。

5.如权利要求4所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述位移台还包括第二插接头，所述第二插接头设置于所述位移台的连接有所述样品支撑柱的面上。

6.如权利要求5所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述样品支撑柱还包括第一插接头，所述密封块设置有第一插接通孔，所述第一插接头与所述第一插接通孔插接并形成气密封，所述第二插接头被配置成能够与所述第一插接头插接的形式。

7.如权利要求5所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述密封块设置有插接头容纳腔，所述密封块的两端面相互封闭。

8.如权利要求4所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述密封块的外部边缘不为圆形，所述密封块嵌入所述样品支撑柱。

9.如权利要求4所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述密封块的边缘为圆形，所述圆形的边缘上设置有的限位凸起，所述样品支撑柱设置有与所述限位凸起相匹配的限位槽。

10.如权利要求1所述的一种样品支撑柱安装结构，其特征在于：所述样品支撑柱还包括连接板，所述连接板设置于所述样品支撑柱的靠近所述位移台一侧，所述连接板设置有螺钉容纳孔，所述位移台设置有螺纹孔，所述螺钉容纳孔与所述螺纹孔对位设置。